فیبریکیشن لیول پر، سولڈر ماسک کو خشک کرنا کوئی الگ مرحلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ دراصل ایک تھرمل عمل ہے جو لیتھوگرافی کے بعد پیٹرن کی سالمیت کو برقرار رکھتا ہے۔ اگر اس عمل میں کوئی خرابی پیدا ہو جائے، تو پیٹرن کی حدود میں تبدیلی آ جاتی ہے، اور دوبارہ کام کرنا پڑتا ہے۔ ہم نے یہ سسٹم اس طرح تیار کیا ہے کہ پورے ویفر پر تھرمل توانائی کو بالکل اسی سطح پر رکھا جا سکے جو پروسیس کارڈ میں درج ہے۔
اصل بات یہ ہے کہ پروڈکشن کے دوران بھی کنٹرول برقرار رہے۔ ہمارا سسٹم ±0.1°C کی درستگی کے ساتھ ویفر پر یکساں توانائی فراہم کرتا ہے؛ اس کے لئے NIR-آپٹیمائزڈ ایمیٹرز استعمال کئے گئے ہیں، جو تیز رفتار اور بغیر کسی رابطے کے توانائی فراہم کرتے ہیں۔ یہ چیمبر کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روموں کے لئے مناسب ہے؛ اس میں لیمینر فلو پاتھ ہے، اور بیکنگ کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔
دہرانے کی صلاحیت قابل پیمائش ہے: 1,000 ویفروں پر 0.2°C سے کم کی تغیرات۔ فوٹوریزسٹ کے لئے بھی مناسب سیٹنگز موجود ہیں۔ اس کا مطلب یہ ہے کہ ایچنگ اور ڈویلپمنٹ کے مراحل میں بھی پیٹرن کی درستگی برقرار رہتی ہے۔
یہ سسٹم کیوں کامیاب ہے؟ کیونکہ یہ عمل کو مسلسل جاری رکھتا ہے۔ یہ 24/7 کام کرتا ہے، اور بہت کم وقفے کے ساتھ۔ ایمیٹرز کی عمر 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہے، اور ہر بیچ کے آغاز پر کنٹرول لوپ خود ہی چیک ہو جاتا ہے۔ روایتی ہاٹ پلیٹس کے مقابلے میں توانائی کی کھپت کم ہے، اور سائیکل ٹائم بھی کم ہے، بغیر پروڈکشن کی کارکردگی پر کوئی اثر پڑے۔
چند عملی نکات: اس سسٹم کے لئے 208–240 V کی بجلی کی ضرورت ہے، اور گیسوں کو باہر نکالنے کے لئے مناسب سسٹم بھی ضروری ہے۔ زیادہ تر پلیٹ فارموں پر اسے آسانی سے نصب کیا جا سکتا ہے، لیکن پرانے اوونوں میں اسے نصب کرنے کے لئے مکینیکل تبدیلیاں ضروری ہیں۔ پہلے ہی تمام ضروری سہولیات کا انتظام کر لیں؛ تب ہی پروسس صحیح طریقے سے چل سکے گا۔