Trên bề mặt wafer, việc thay đổi nhiệt độ chỉ trong khoảng nửa độ cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, gây ra hiện tượng tích tụ chất cặn sau quá trình khắc, và làm giảm tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn. Chúng tôi đã thiết kế các bộ phận chiếu sáng bằng đèn hồng ngoại dành cho các thiết bị xử lý wafer, nhằm duy trì nhiệt độ ổn định qua từng chu kỳ xử lý.
Điều quan trọng là bộ phận chiếu sáng này phải được kết hợp với các đèn hồng ngoại loại quartz, nhằm truyền nhiệt trực tiếp vào wafer theo đúng yêu cầu: nhanh chóng và hiệu quả. Trong khu vực xử lý, độ đồng đều của nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C; nhờ đó, lớp phim quang học sẽ nhận được nhiệt độ ổn định, tránh tình trạng xuất hiện các điểm nóng.
Bộ phận chiếu sáng này đáp ứng tiêu chuẩn phòng sạch loại 1–100, vì nó kiểm soát tốt các hạt bụi; không có chất gì thoát ra từ khu vực có nhiệt độ cao, các kết nối được đóng kín, và vỏ bằng gốm không bị nứt vỡ. Giao diện điện của bộ phận này được thiết kế để chịu được dòng điện lớn và có ma sát tiếp xúc thấp, nhờ đó công suất đèn vẫn ổn định ngay cả khi hoạt động 24/7.
Hiệu suất chiếu sáng vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ, với mức giảm công suất dưới 5%. Điều này có nghĩa là nhiệt độ trong quá trình in ấn – cũng như các bước xử lý sau đó – sẽ không bị thay đổi.
Trong quá trình in ấn, bộ phận chiếu sáng giúp duy trì nhiệt độ ổn định để các chất dung môi có thể rời khỏi bề mặt wafer mà không làm tổn thương lớp phim quang học. Trong quá trình xử lý nhiệt độ cao, bộ phận này cung cấp lượng nhiệt chính xác cần thiết để đảm bảo tính kết dính và khả năng chống lại quá trình khắc, từ đó giảm độ thô của các đường nét trên wafer.
Khả năng lặp lại quá trình xử lý từ wafer này sang wafer khác giúp giảm số lượng sản phẩm cần sửa chữa, giảm lượng phế liệu, và giúp lên kế hoạch cho thời gian xử lý một cách chính xác hơn. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu – đèn chỉ hoạt động khi cần thiết, nhanh chóng đạt nhiệt độ mong muốn, và tổn thất năng lượng trong trạng thái chờ được giảm đến mức tối thiểu.
Một vài lưu ý thực tế: Bộ phận chiếu sáng này cần được kết hợp với đèn phù hợp và có kích thước lắp đặt phù hợp với từng loại thiết bị. Vì vậy, hãy kiểm tra điện áp, dòng điện và khoảng cách cơ học trước khi lắp đặt.
Ở những lớp phim quang học rất mỏng, độ chính xác của nhiệt độ càng quan trọng – ngay cả sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể ảnh hưởng đến quá trình xử lý. Trong môi trường có độ ẩm cao, cần thực hiện các kiểm tra định kỳ để đảm bảo tính ổn định của các kết nối và khả năng truyền nhiệt.