Ốc cắm đèn hồng ngoại dành cho dụng cụ xử lý wafer

Trên bề mặt wafer, việc thay đổi nhiệt độ chỉ trong khoảng nửa độ cũng đủ để làm thay đổi các kích thước quan trọng của wafer, gây ra hiện tượng tích...