Giảm lượng khí thải carbon trong quá trình sản xuất chip bằng đèn hồng ngoại không chứa ozone
Việc sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi lượng nhiệt lớn và độ chính xác cao. Nhưng thực tế là phương pháp truyền thống để xử lý các quy trình nhiệt này lại gây ra lượng khí thải carbon khổng lồ. Chúng ta đang cố gắng giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone. Đây là cách đơn giản hơn để tránh lãng phí năng lượng và loại bỏ những chất thải nguy hiểm do bức xạ tia cực tím gây ra.
Vấn đề liên quan đến ozone
Đèn hồng ngoại thông thường phát ra bức xạ trong khoảng 185nm đến 254nm. Bức xạ này khiến oxy trong không khí bị chuyển thành ozone (O3). Trong môi trường sạch, ozone là một chất gây hại – một chất ô nhiễm mà chúng ta tuyệt đối không muốn có.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dng các sợi dây tóc được xử lý đặc biệt hoặc lớp phủ thạch anh đặc biệt, giúp chặn bức xạ tia cực tím. Bạn vẫn có thể sử dụng lượng nhiệt cần thiết, nhưng không còn phải lo lắng về việc tích tụ khí ozone nữa.
Vì không còn phải đối phó với ozone nữa, bạn có thể loại bỏ những hệ thống thu hồi nhiệt hiệu quả cao nhưng tiêu tốn nhiều năng lượng. Điều này giúp giảm chi phí năng lượng cho nhà máy của bạn.
Áp dụng công nghệ này trong thực tế
Những chiếc đèn này được thiết kế để hoạt động nhanh. Chúng có công suất cao và thời gian khởi động nhanh. Mục tiêu là loại bỏ “nhiệt dư thừa” – tức là lượng năng lượng bị lãng phí khi máy chỉ đang ở trạng thái sẵn sàng hoạt động.
Thay vì làm nóng toàn bộ buồng sản xuất, chúng ta chỉ cần tập trung nhiệt vào wafer. Đây là cách sử dụng năng lượng hiệu quả hơn nhiều.
Ngoài ra, thiết bị này được thiết kế để có thể thay thế dễ dàng cho các thiết bị hiện có. Bạn có thể thay thế chúng mà không cần tháo rời toàn bộ hệ thống. Chúng tôi cũng sử dụng thạch anh cường lực, giúp đèn không bị nứt vỡ khi nhiệt độ thay đổi nhanh chóng.
Những thách thức
Dù vậy, mọi thứ không hẳn hoàn hảo. Vẫn còn một số thách thức. Khi bạn yêu cầu đèn hoạt động với tốc độ cao, nguồn điện cung cấp sẽ phải chịu áp lực lớn. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống điện có thể xử lý được dòng điện cao nhất, nếu không bạn sẽ gặp rắc rối.
Khoảng cách giữa đèn và wafer cũng rất quan trọng. Nếu đèn quá gần, wafer sẽ bị nóng quá mức. Ngược lại, nếu đèn quá xa, hiệu suất sẽ giảm. Chúng tôi cũng bổ sung các lớp bảo vệ để đảm bảo rằng nhiệt chỉ tập trung ở vị trí cần thiết, không lan sang các bộ phận khác của máy.