为什么我们在晶圆加工中使用镀金反射器
说实话，让半导体设备中的能量白白浪费，显然是一种糟糕的设计。当加热器开始工作时，大量的红外能量只会四处散射或泄露到设备外壳中，这无疑是一种浪费。因此，我们才在反射面上使用镀金处理，这样就可以避免能量的泄漏。
镀金的反射特性
使用黄金并非为了让设备看起来更美观，而是出于物理原理的考虑。 黄金具有极高的长波红外辐射反射能力。而普通铝材在温度升高时，其反射能力会下降，但黄金则能保持稳定的反射性能。这意味着，来自加热元件的每一瓦特能量都能准确地照射到晶圆上。 这样一来，热量分布会更加均匀。由于能量能够准确传递到需要的地方，因此无需提高功率就能达到所需的温度。
线路问题与“过热”风险
在处理这类高能量时，电路系统必须具备足够的耐热性。我们选择聚四氟乙烯绝缘材料，是因为它不会熔化。它能够承受靠近光源处的极高温度，且不会释放出任何有害物质。如果绝缘层出现损坏，就会导致晶圆上出现污染物，那可真是可怕的情况。 不过，需要注意的是，由于镀金反射器的效率极高，它们会将大量热量集中在晶圆上。如果冷却系统无法应对这种温度上升，就有可能损坏周围的传感器。
维护时的注意事项
虽然黄金是最佳的反射材料，但它其实非常柔软。如果维护人员在清洁时使用粗糙的清洁工具，就会刮掉镀金层。这会在晶圆上形成“冷点”，从而破坏整体的热量分布。因此，必须使用非研磨性的清洁工具，这样才能保持镀金层的完整性。 只要线路正常，镀金层完好无损，一切就都会正常运作。如此一来，升温时间就会缩短，而且整个晶圆上的热量分布也会更加均匀。