减少半导体清洗过程中的碳排放（无需再为能耗问题烦恼）
说实话，半导体制造过程中的清洗和干燥环节是能源消耗最大的环节。大量的电能都浪费在了这些环节上。我们花了很长时间来寻找解决办法，最终发现使用防水型红外灯是个好方法。
这类灯泡专为潮湿的清洗环境设计，因为在这种环境下，普通设备根本无法正常工作。
不再浪费能量加热空气
传统对流式烤箱的特点是试图加热整个腔室内的所有物体。为了让晶圆变干，它们不得不消耗大量能源来加热整个腔室，这显然效率低下。
而我们的红外灯则有所不同：它们利用短波辐射直接照射晶圆表面。这样一来，就不需要再为整个系统的热效应而烦恼了。因此，能耗大大降低，系统启动速度也更快，而且不会在闲置状态下继续耗能。
应对高湿度问题
如果将普通的石英管放入清洗环境中，它很快就会破裂或损坏。因为那里的湿度实在太高了。
因此，我们会将这些设备密封起来，确保水分无法进入内部。我们使用高纯度石英材料以及能够承受水蒸气而不被损坏的密封装置。
不过需要注意的是，必须控制好功率。高密度的红外灯会释放出大量热量。如果排气系统不够强，就无法有效排出这些热量，从而导致传感器和工具被损坏。所以，平衡非常重要。
让“绿色工厂”真正发挥作用
当人们谈到“绿色工厂”时，往往觉得这只是营销话术而已。但实际上，它本质上就是关于效率的问题。
红外灯的最大优点就是其响应速度极快——随时可以开启或关闭，无需等待。这样就可以避免在晶圆传输过程中浪费能源。
当工程师们用分布式红外灯取代那些老旧、笨重的加热器后，就能显著降低每块晶圆的能耗，从而实现碳减排目标——同时还能保持较高的生产速度。