工厂干燥系统的能源审计

停止给机器本身加热，转而直接为晶圆加热吧！ 你有没有试过触摸干燥箱的侧面，然后感觉到皮肤被灼烧的痛感？那其实就是“热辐射”的现象。 之所以会出现这种情况，是因为大多数晶圆干燥系统都是将热量均匀地散发到整个空间里。热量无法散去，于是就只能被内壁和机壳吸收，就像海绵一样。这不仅浪费能源，对于那些需要操...