停止给机器本身加热，转而直接为晶圆加热吧！
你有没有试过触摸干燥箱的侧面，然后感觉到皮肤被灼烧的痛感？那其实就是“热辐射”的现象。
之所以会出现这种情况，是因为大多数晶圆干燥系统都是将热量均匀地散发到整个空间里。热量无法散去，于是就只能被内壁和机壳吸收，就像海绵一样。这不仅浪费能源，对于那些需要操作这些设备的人来说，还可能存在安全隐患。
我们找到了更好的方法：定向红外线加热。
关键在于能量的传递方向。
与其试图加热整个房间里的空气，不如用定向红外线灯直接照射晶圆。这就好比使用手电筒而非灯泡。通过反射器和特定波长的光，我们可以让热量精确地作用于晶圆上。
这样，晶圆就能得到所需的温度，而机器的墙壁则保持凉爽。
保障安全与节省空间
当然，你不能随便使用功率最大的灯具。必须平衡好功率密度与冷却系统之间的关系。虽然高功率灯具能快速提升温度，但它们会给电源带来很大负担。
由于热量被集中在一起，因此无需在墙壁上添加厚重的隔热层。这样一来，机器占用的空间就会更少。
不过，这种方法也有其局限性
定向加热并非万能解决方案。如果灯具的位置偏差几毫米，那么晶圆的干燥效果就会不均匀。为了让系统正常工作，安装支架必须非常稳固，不能因为高温而变形。
我们还建议使用闭环PID控制器，这样才能确保系统在升温过程中保持稳定，避免温度过高。
一旦不再浪费能量去加热金属板或空气，一切都会变得更好。你的电费会降低，操作人员也不必再担心被高温的机器烫伤。