别再浪费能量了：为何金质反射器如此重要 说实话，在半导体加工过程中，浪费能源不仅效率低下，更是设计上的缺陷。 大多数普通的红外加热器都会将能量向各个方向散发出去，其中很大一部分能量被用于加热设备外壳，而非芯片本身。我们认为还有更好的方法——通过使用镀金反射器，我们可以把那些散失的能量重新引导回芯片...

停止为机器的壁面加热吧 大多数加热元件都会产生大量热量，这些热量会四处散播，这对于制造半导体设备来说无疑是个麻烦。这样一来，设备的壳体会吸收大量不必要的能量，导致“过热”的问题。 这其实是个双重问题：一方面浪费了电能，另一方面，操作人员为了让机器继续运转，不得不避免被烫伤。更不用说这还可能造成设备...

停止给机器本身加热，转而直接为晶圆加热吧！ 你有没有试过触摸干燥箱的侧面，然后感觉到皮肤被灼烧的痛感？那其实就是“热辐射”的现象。 之所以会出现这种情况，是因为大多数晶圆干燥系统都是将热量均匀地散发到整个空间里。热量无法散去，于是就只能被内壁和机壳吸收，就像海绵一样。这不仅浪费能源，对于那些需要操...