V prostředí litografie víte, jak to chodí. I poloviční odchylka v parametrech zahřívání může způsobit odchylky kritických rozměrů o několik nanometrů. Okamžitě to poznáte – objeví se nežádoucí efekty jako např. vznik „pěny“ na povrchu desky, což znamená, že máte k dispozici pouze odpadní desky. Vytvořili jsme infračervené lampy určené k vysychání fotorezistu, aby bylo možné udržet konstantní teplotní podmínky během celého procesu, i během období přerušení provozu.
Co je z hlediska technologie důležité? Používáme emitory krátkovlnného infračerveného záření s rychle reagujícím kvartovým pláštěm. Teplo putuje přímo do vrstvy fotorezistu, aniž by došlo k zahřátí samotné desky. Díky tomu dosahujeme rovnoměrnosti teploty na úrovni ±0,1 °C a křivky zahřívání zajišťují konstantní podmínky během celého procesu. Systém zůstává čistý – nevznikají žádné částice, což je ideální pro čisté prostory tříd 1–100. Navíc systém splňuje standardní rozhraní SEMI. Výkon lampy zůstává konstantní po dobu více než 5 000 hodin, s poklesem intenzity menším než 5 %.
Práce s fotorezistem spočívá především v řízení teplotních podmínek. Zahřívání musí proběhnout rychle, poté musí teplota zůstat konstantní, a nakonec musí být deska opět v čistém stavu. Naše lampy redukují dobu zahřívání a stabilizaci teploty na několik sekund, takže můžete dosáhnout vyšší efektivity bez nutnosti používání vyšší energie.
Stejný teplotní profil se opakuje v každé várce. Právě tato predikovatelnost umožňuje udržet kontrolu nad rozměry desek a zajistit požadovanou míru produktivity. V provoze 7×24 hodin denně tak dochází k nulovým neplánovaným přerušením provozu a údržba probíhá v plánu, nikoliv v reakci na nouzové situace.
Je potřeba vzít v úvahu několik věcí. Instalace je jednoduchá, ale je nutné zajistit přesné zarovnání s rovinou desky a správnou vzdálenost mezi emitterem a substrátem. Pokud toto není splněno, začne se rovnoměrnost teploty měnit.
Povrch lampy je velmi horký, proto je nezbytná tepelná izolace a bezpečnostní prvky. Také je potřeba sladit spektrum emitoru s absorpčním pásmem fotorezistu – různé typy fotorezistů vyžadují různé infračervené profile, proto systém upravujeme podle toho.