Přestaňte zahřívat stěny nástroje – místo toho začněte zahřívat samotné polovodičové desky. Dosažení správné teploty polovodičové desky vyžaduje...

Na povrchu waferu stačí půl stupně odchylky při měkkém nebo tvrdém zahřívání k tomu, aby se změnily kritické rozměry, po leptání zůstaly nežádoucí...