Sichere Nutzung von Infrarotheizungen in der Nähe von flüchtigen Chemikalien
Wenn Sie einen Halbleiterfabrikbetrieb führen, kennen Sie das Problem: Infrarotlampen werden in der Nähe von Chemikalien verwendet, die – um es deutlich zu sagen – Wärme nicht mögen. Die Verwendung einer einfachen Lampe in solchen Bereichen bedeutet nur Probleme.
Um dieses Problem zu lösen, umhüllen wir die Lampe mit einem speziellen Quarzglas-Schutz. Stellen Sie sich das wie eine „physische Wand“ vor, die verhindert, dass Wärme und Chemikalien in Berührung kommen.
Warum Quarz?
Wir verwenden hochreinen geschmolzenen Quarz aus einem einfachen Grund: Er reagiert nicht negativ auf hohe Temperaturen. Normales Glas würde bereits beim Erwärmen der Lampe zerbrechen. Der Quarzschutz fungiert somit als Schutz für die elektrischen Anschlüsse sowie den Glühfaden der Lampe. Der eigentliche Vorteil ist, dass dadurch Ausbrüche vermieden werden. Falls es zu einem Chemiekalienleck kommt, hält der Schutz die flüchtigen Gase von den heißesten Teilen der Lampe fern. Es geht dabei nicht nur darum, die Ausrüstung zu schützen, sondern auch darum, sicherzustellen, dass die gesamte Anlage nicht zerstört wird.
Der Kompromiss
Nichts ist perfekt. Quarz ist zwar hervorragend, denn es lässt den größten Teil der Kurzwellen-Infrarotstrahlung durch. Die Wärme gelangt genau dorthin, wohin sie soll – auf die Wafer oder Substrate – ohne dass der Schutz selbst zur Quelle der Wärme wird. Doch man bemerkt eine leichte Einschränkung in der Effizienz: Ein wenig Wärme bleibt im Quarzglas gebunden. Das ist jedoch keinProblem. Normalerweise reicht es aus, die Leistung der Lampe etwas zu erhöhen oder die Fokallänge anzupassen, damit die gewünschte Temperatur erreicht wird.
Installation
Wir haben diese Schutzelemente so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für die Standardgehäuse in den Fabrikanlagen eingesetzt werden können. Es ist also nicht notwendig, die gesamte Anlage neu aufzubauen. Doch hier machen die Leute oft Fehler: Die Abdichtungen müssen luftdicht sein. Wenn die Abdichtung während der thermischen Belastung versagt, ist der Schutz nutzlos. Wir verwenden spezielle Dichtungen, um Lecks zu verhindern – doch man muss trotzdem darauf achten. Regelmäßige Wartungschecks sind wichtig. Es ist viel günstiger, die Dichtungen zu überprüfen, als mit unplanmäßigen Stillständen umzugehen.