در کارخانههای تولید، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتیگراد میتواند باعث از بین رفتن کل محموله ویفرها شود. ما هیترهای مادون قرمز سفارشی ساختیم تا این خطر را از بین ببریم. این هیترها امکان کنترل دقیق دما در سطح ویفرها را فراهم میکنند؛ چه در فرآیند خشک کردن ویفرها، چه در فرآیند پختن فوتورزیست، چه در فرآیند پر کردن خلأ و چه در فرآیند خشک کردن پس از تمیزکاری.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ هیترها از نوع نزدیکمادون قرمز هستند و دارای پروفایل طیفی مناسبی برای گرم کردن مستقیم سطح ویفرها؛ بدون نیاز به استفاده از محیطهای خاص یا ایجاد آلودگی. یکنواختی دما در سطح ویفرها در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است، و تکرارپذیری عملکرد هیترها نیز در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد است. زمان پاسخگویی هیترها کمتر از دو ثانیه است؛ بنابراین کنترل دما به خوبی انجام میشود. برای دستیابی به محیطهای پاک، از مواد کوارتز/سرامیکی و ساختارهایی استفاده میشود که مانع از تولید ذرات میشوند. این هیترها برای کار ۲۴/۷ طراحی شدهاند؛ ضمن اینکه عمر مفید آنها دهها هزار ساعت است. همچنین، ماژولهای جایگزینی نیز وجود دارد تا زمان توقف غیرمنتظره کاهش یابد.
در فرآیند لیتوگرافی، فرآیندهای خشک کردن ویفرها نقش مهمی در کنترل ابعاد آنها دارند. هیترهای ما امکان کنترل دقیق دمای فوتورزیست را فراهم میکنند؛ این امر باعث کاهش نوسانات عرض خطوط روی ویفرها و افزایش بازدهی تولید میشود. در فرآیندهای خشک کردن ویفرها، گرمایش سریع و یکنواخت باعث جلوگیری از ایجاد خطوط و نشانههای ناخواسته روی سطح ویفرها میشود؛ بدون نیاز به تماس مستقیم.
در فرآیند بستهبندی نیز، این هیترها امکان ایجاد پروفایلهای یکنواخت برای مواد استفاده شده در بستهبندی را فراهم میکنند؛ این امر باعث کاهش زمان فرآیند و حفظ چسبندگی و قابلیت اطمینان محصولات میشود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرما مستقیماً به درون فرآیند وارد میشود، نه به داخل محفظه بزرگ.
نکته مهم این است که این هیترها بر اساس نیازهای دستگاه شما طراحی شدهاند. هندسه محفظه، نوع قفلها و محل قرارگیری سنسورها نیز اهمیت دارند. راهاندازی این هیترها سریع است؛ همچنین، برای حفظ دقت کنترل دما، نیاز به هوای تمیز و خشک وجود دارد. همچنین، تطبیق خروجی طیفی هیترها با ویژگیهای سطح ویفرها نیز ضروری است؛ ما دادههای لازم برای تنظیم میزان انتشار و بازتاب نور را در اختیار شما قرار میدهیم.