دیگر نیازی نیست دیواره‌های ابزارهای شما را گرم کنید؛ بهتر است سطح ویفرها را گرم کنید. رساندن ویفرهای نیمه‌هادی به دمای مناسب، کاری بسیار دقیق است....

در سطح ویفر، حتی انحراف نیم درجه‌ای در فرآیندهای پخت نرم یا سخت، می‌تواند منجر به تغییر ابعاد کلیدی ویفر شود؛ همچنین باعث ایجاد لایه‌های ناخواسته پس...