Arrêtez que vos lampes infrarouges ne détruisent pas vos wafers
Dans une usine de semi-conducteurs fonctionnant à grande échelle, une lampe infrarouge endommagée n’est pas simplement une source d’ennuis ou de temps perdu. C’est un véritable cauchemar. Lorsqu’un tube en quartz explose, des morceaux de verre et du gaz halogène se retrouvent directement sur les wafers. Une seule lampe endommagée peut détruire toute une série de wafers en quelques secondes. Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des solutions pour éviter cela, en nous concentrant principalement sur la forme des lampes et leur emplacement.
L’“espacement idéal”
On ne peut pas placer une lampe directement contre un wafer. Il faut laisser un peu d’espace entre elles. Nous recommandons généralement un certain écart de sécurité, en fonction de la puissance fournie et de la température atteinte. Pourquoi ? Parce que les objets se déforment lorsqu’ils sont très chauds. Si le tube se déforme sous l’effet de la chaleur, cet espace permet à la lampe de ne pas toucher le substrat. Bien sûr, on pourrait réduire cet espace pour obtenir plus de chaleur, mais c’est très risqué. Un petit défaut suffit pour provoquer des dommages physiques. Assurez-vous que les supports de fixation soient bien fixés afin de maintenir cet écart constant.
Maintenir tout propre
Nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour minimiser les émissions gazeuses. Mais nous pensons également qu’il est judicieux d’ajouter un bouclier en quartz entre la lampe et les wafers. Imaginez-le comme un garde du corps : si la lampe tombe en panne, le bouclier retiendra les débris, permettant ainsi aux wafers de rester intacts. Nous mettons aussi beaucoup d’efforts dans les joints électrodes pour éviter les fuites de gaz halogène. Et si vous devez travailler 24/7, prenez le temps de vérifier la tension des connecteurs. Des connexions mal fermées peuvent provoquer des arcs électriques, ce qui endommage rapidement les lampes.
Puissance vs. Sérénité
Les lampes à haute puissance permettent une montée en température rapide. Elles permettent donc au processus de continuer. Mais plus de puissance signifie plus de pression interne. C’est un équilibre à trouver : il faut tenir compte de la densité thermique tout en sachant si le système de refroidissement peut efficacement évacuer la chaleur des extrémités de la lampe. Sinon, le quartz se détériore et finit par se briser. Nous avons créé des tableaux indiquant la relation entre la puissance et l’écart nécessaire. Ils vous aident à trouver le juste milieu, afin d’obtenir la chaleur nécessaire sans craindre de panne.