הפחתת פליטות הפחמן בתהליכי שטיפה וייבוש בתעשיית השבבים (בלי כאבי ראש)
בואו נהיה כנים: שלבי השטיפה והייבוש במפעלי שבבים צורכים הרבה אנרגיה. זו הנקודה שבה הרבה אנרגיה נהרסת לחינם. בילינו הרבה זמן בניסיון למצוא פתרון לבעיה זו, והתשובה הייתה שימוש במנורות אינפרא-אדום.
מנורות אלו נועדו במיוחד לחדרי השטיפה הלחים, שבהם הציוד הרגיל לא יכול לעבוד.
הפסקת חימום האוויר
הבעיה עם תנורי חימום רגילים היא שהם מנסים לחמם הכל. הם מבזבזים הרבה אנרגיה על חימום כל החדר, רק כדי לייבש את הוואפר. זה לא יעיל.
מנורות האינפרא-אדום עובדות אחרת – הן משתמשות בקרינה באורך גל קצר כדי לחמם את פני הוואפר ישירות. אין צורך להתמודד עם החום שנוצר בכל המערכת. בזכות זה, צריכת האנרגיה יורדת. ניתן להאיץ את תהליך הייבוש, וניתן להפסיק את בזבוז האנרגיה בזמן שהמערכת עובדת במצב מנוחה. זה פשוט יעיל יותר.
התמודדות עם הלחות
אם נשתמש בצינורות קוורץ רגילים בשלבי השטיפה, הם יישברו או יפסיקו לעבוד. הלחות גבוהה מדי.
לכן אנו סוגרים את המנורות בצורה טובה. אנו מתמקדים באינטרפייסים של האלקטרודות, כדי למנוע חדירת לחות. אנו משתמשים בקוורץ באיכות גבוהה ובחומרי אטימה שיכולים לעמוד בלחות מבלי להישרף.
אך יש להיזהר: יש לשלוט בעוצמת החימום. מנורות אינפרא-אדום יוצרות כמות גדולה של חום. אם מערכת הפינוי של החום אינה חזקה מספיק, החום עלול לפגוע בחיישנים ובציוד. האיזון הוא המפתח כאן.
הפיכת “מפעלים ירוקים” למציאות
כשאנשים מדברים על “מפעלים ירוקים”, זה לעתים נשמע כמו שפה שיווקית. אך בעולם האמיתי, מדובר פשוט ביעילות.
אחת היתרונות הגדולים של מנורות אינפרא-אדום היא שהן פועלות מיד – הן נדלקות ונכבות מיד. אין צורך לחכות. כך אנו מפסיקים את בזבוז האנרגיה בזמן שהוואפרים מועברים ממקום למקום.
אנו רואים תוצאות טובות כשהמהנדסים מחליפים את המחממים הישנים והכבדים במנורות אינפרא-אדום. כך ניתן לשלוט במיקום החום. זה מפחית את צריכת האנרגיה לכל וואפר, מה שעוזר להשיג את היעדים הסביבתיים – בלי להאט את קצב הייצור.