עצירת “אפקט התנור” בחדרי ואקום
אם עבדתם אי פעם במפעלי שבבים, אתם מכירים את הבעיה. יש צורך לחמם את הוואפר, אך אין רצון שכל חדר הוואקום יהפוך לתנור.
בחימום רגיל, האנרגיה מתפשטת לכל הכיוונים. בוואקום, אין לאנרגיה לאן להתפשט, והיא נשארת בקירות החדר. זו בעיה גדולה – הציוד נעשה חם מאוד, והחלקים השונים של הציוד נפגעים מהחום. זו בזבוז של אנרגיה.
איך אנחנו פותרים את זה
אנחנו משתמשים בנורות אינפרא-אדום מיוחדות, כדי שהחום יגיע למקום הנכון. באמצעות חומרים מחזירים אור או ציפויים מיוחדים, אנחנו “דוחפים” את הקרינה לכיוון אחד בלבד.
ניתן לחשוב על זה כמו פנס, במקום נורה רגילה. במקום אור שמגיע לכל מקום, האנרגיה מופנית ישירות למטרה. הוואפר מקבל את החום הדרוש לו, אך שאר החלקים של הציוד נשארים קרים. זה מקל מאוד על הציוד.
האיזון הנכון
אי אפשר פשוט להשתמש בנורות בעלות הספק גבוה ביותר. צריך להתחשב ביכולות של מערכת הקירור.
נורות בעלות צפיפות אנרגטית גבוהה טובות מכיוון שהן מסוגלות להעלות את הטמפרטורה במהירות. אך הן דורשות הרבה אנרגיה. בדרך כלל אנחנו משתמשים בהן יחד עם בקרים מדויקים, כדי שלא לעלות מעבר לטמפרטורה הרצויה.
אם משתמשים בנורות בעלות הספק גבוה בלי בקרה, הטמפרטורות בקירות יעלו במהירות. על ידי כך שהאנרגיה מופנית לכיוון אחד, אין צורך להוסיף מערכות קירור מיותרות. זה שומר על הציוד נקי יותר.
המציאות
שום דבר אינו מושלם. לנורות האלו יש גם את החסרונות שלהן.
הציפויים המחזירים אור עלולים להתבלות אם הנורות פועלות במקסימום ההספק שלהן. לאחר כמה אלפי שעות, ניתן להבחין בירידה קלה ביעילות הנורות.
זה לא בעיה קריטית, אך צריך להתחשב בכך כשמתכננים את התהליך. הטעות הנפוצה היא לנסות “לאלץ” את הנורות הישנות לעבוד כמו חדשות על ידי הגדלת ההספק. אם עושים זאת, החוטים של הנורות יישרפו מוקדם מדי. צריך פשוט לעקוב אחר רמת הבלאי של הנורות, וכך הכל יהיה בסדר.