Hentikan kebiasaan memanaskan dinding oven (dan mulailah memanaskan permukaan wafer saja)
Jika Anda pernah menggunakan oven konveksi biasa untuk proses pembuatan semikonduktor, Anda pasti tahu bagaimana cara kerjanya. Udara di dalam oven akan dipanaskan, sehingga seluruh bagian dalam oven menjadi semacam “radiator” raksasa. Hal ini merupakan pemborosan energi, dan sebenarnya juga berbahaya bagi orang-orang yang berada di sekitarnya.
Kami berpikir ada cara yang lebih baik. Alih-alih memanaskan seluruh bagian oven, kita bisa mengarahkan panas tepat ke tempat yang dibutuhkan, menggunakan sinar inframerah yang dapat diarahkan.
Cara kerjanya
Bayangkan saja alat ini bukan sebagai oven, melainkan seperti senter. Kumparan listrik pada oven biasa hanya digunakan untuk menghangatkan ruangan. Namun, lampu inframerah berbeda; ia memancarkan radiasi elektromagnetik secara lurus. Energi tersebut tidak memperdulikan udara di sekitarnya—energi tersebut akan langsung mencapai permukaan benda yang diproses.
Yang terbaik adalah dinding peralatan tetap dingin. Anda tidak perlu lagi khawatir tentang masalah pemanasan yang berlebihan pada dinding oven. Energi panas akan langsung dialirkan ke bagian yang membutuhkannya.
Peralatan dan pengaturannya
Tergantung pada seberapa dalam panas yang dibutuhkan, kami biasanya menggunakan lampu kuarsa berfrekuensi gelombang pendek atau sedang. Lampu-lampu ini tidak membutuhkan banyak ruang, sehingga cocok digunakan di ruang kerja yang sempit.
Namun, keunggulan utamanya adalah kecepatannya. Tidak ada penundaan waktu saat panas sampai ke targetnya. Anda tinggal menyalakan saklar, dan suhu target akan tercapai dalam hitungan detik. Tidak perlu menunggu udara menjadi hangat terlebih dahulu.
Kami juga memastikan bahwa peralatan ini ramah lingkungan, dengan menggunakan bahan-bahan yang tidak mengeluarkan gas berbahaya. Selain itu, lampu-lampu tersebut diletakkan di dalam reflektor agar sinarnya terfokus, sehingga panas tidak merambat ke bagian lain dari mesin.
Kekurangannya (Karena tidak ada yang sempurna)
Ada beberapa kelemahan dari alat ini: ini merupakan alat yang membutuhkan ketelitian tinggi, bukan alat yang bisa digunakan begitu saja tanpa perlu pengaturan khusus.
Karena panas bergerak secara lurus, maka akan muncul area-area yang dingin jika bentuk benda yang diproses tidak sempurna. Anda perlu memperhatikan dengan seksama bagaimana distribusi panas selama proses desain.
Selain itu, Anda perlu sangat teliti dalam pemasangan lampu-lampu tersebut. Jika posisi lampu salah hanya beberapa milimeter saja, maka wafer tidak akan dipanaskan secara merata. Braket pemasangan lampu harus sangat kokoh. Jika ada getaran atau pergeseran, maka pola distribusi panasnya akan terganggu.