Di area litografi, Anda tahu bagaimana prosesnya berlangsung. Profil pemanasan yang tidak tepat, meskipun hanya setengah derajat saja, dapat...

Anda tahu situasi di lantai wafer: strip chamber berhenti bekerja karena pemanas pendukung menyimpang 0,8°C dari setpoint. Residu photoresist masih...