Voorkom dat uw infraroodlampen uw wafers beschadigen
In een productieomgeving met hoge volumes kan een kapotte infraroodlamp niet alleen voor problemen zorgen, maar ook leiden tot lange stilstandstijden. Het is een echte nachtmerrie.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, vallen er scherfjes glas en halogengas op de wafers terecht. Eén kapotte lamp kan al een hele lading wafers in Seconden vernietigen. We hebben veel tijd besteed aan het vinden van manieren om dit te voorkomen, vooral door te kijken naar de vorm van de lampen en waar ze zich bevinden.
De “gouden afstand”
U kunt een lamp niet zomaar tegen een wafer drukken. Er moet wat ruimte zijn tussen de lamp en de wafer.
We raden meestal een bepaalde veiligheidsafstand aan, gebaseerd op de hoeveelheid energie die wordt gebruikt en de temperatuur die wordt bereikt. Waarom? Omdat dingen bewegen wanneer ze heet worden. Als een buis onder extreme hitte vervormt, zorgt deze afstand ervoor dat de buis de wafer niet raakt.
U kunt de afstand natuurlijk verkleinen om meer warmteoverdracht te krijgen, maar dat is gevaarlijk. Elke kleine vervorming kan tot fysieke schade leiden. Zorg ervoor dat de bevestigingspunten stevig vastzitten, zodat deze afstand constant blijft.
Het behouden van zuiverheid
We gebruiken hoogzuiver synthetisch kwarts om uitgasing tot een minimum te beperken. We vinden het ook handig om een soort ‘schild’ tussen de lamp en de wafer te plaatsen. Dit schild vangt de scherven op, zodat de wafer schoon blijft.
We besteden ook veel aandacht aan de aansluitingen op de elektroden, om lekken van halogengas te voorkomen. En als u 24/7 werkt, controleer dan regelmatig de spanning op de aansluitingen. Losse aansluitingen kunnen tot kortsluiting leidden, waardoor de lampen sneller kapotgaan dan nodig is.
Energie versus rust
Lampen met hoge vermogens zijn goed voor snelle opstarttijden. Ze zorgen er namelijk voor dat de productielijn doorwerkt. Maar meer energie betekent ook meer interne druk.
Het is een kwestie van balans. U moet rekening houden met de warmtestroom en de mogelijkheden van het koelsysteem om de hitte weg te halen. Als het koelsysteem de hitte niet goed kan wegnemen, zal het kwarts uiteindelijk breken.
We hebben tabelletjes gemaakt met informatie over het vermogen en de afstand tussen de lamp en de wafer. Hierdoor kunt u gemakkelijk de optimale afstand vinden, zodat u de benodigde warmte krijgt zonder risico op schade.