
Infravermelho vs. Ar Quente: Pare de esperar que as peças se aqueçam!
Se você trabalha com processamento avançado de semicondutores, sabe bem o quanto é irritante ter que esperar. Especificamente, esperar que a câmara de processamento se aqueça.
Por muito tempo, tivemos que usar ar quente para aquecer a câmara, na esperança de que isso funcionasse. Mas o ar é um péssimo condutor de calor. Ele aquece lentamente. Quando se usa ar forçado, na verdade estamos esperando que algo transmita o calor para a peça a ser processada.
O infravermelho muda isso completamente. Ele elimina completamente o papel do “intermediário” no processo de aquecimento. Em vez de aquecer o ar, o infravermelho envia radiação eletromagnética diretamente para o substrato.
É rápido. Muito rápido.
Pense no tempo que você perde durante os períodos de aquecimento com sistemas de ar quente. Você fica parado enquanto a câmara demora para atingir a temperatura desejada. Com o infravermelho, você alcança essas temperaturas em segundos.
Além disso, sua sala limpa ganha mais espaço disponível. Não há necessidade de ventiladores enormes ou sistemas complexos de tubulações que ocupem espaço valioso.
E ainda há a questão da sujeira. A circulação de ar é, basicamente, uma maneira de mover partículas de um lugar para outro. Em uma sala limpa, a turbulência é um grande problema. O infravermelho é estático e não causa nenhum movimento de ar, o que significa que não há risco de contaminação das peças. Assim, você obtém um processo mais limpo e maior controle sobre a temperatura das peças.
Mas não é uma solução mágica. Há um obstáculo: o infravermelho só funciona quando há visibilidade direta entre a fonte de luz e a peça a ser processada. Se a peça tiver formas estranhas ou cantos complicados, algumas áreas ficarão frias, enquanto outras serão superaquecidas.
É preciso planejar bem onde colocar as lâmpadas e como ajustar os refletores, caso contrário, os resultados serão desiguais.
Para linhas de produção em grande escala, trocar o ar quente pelo infravermelho é uma ótima opção, pois reduz significativamente o tempo de processamento. Você está trocando essa sensação de “cobertura” fornecida pelo ar quente por velocidade e um ambiente mais limpo.
Uma dica importante: certifique-se de que seus sensores estejam medindo realmente o calor irradiado. Se você continuar medindo a temperatura do ar ambiente, suas peças serão danificadas.