Не позволяйте инфракрасным лампам разрушить ваши пластины
В производстве полупроводниковых устройств с высокой скоростью работы отказ инфракрасной лампы – это не просто проблема или небольшая перерыв в работе. Это настоящий кошмар. Когда кварцевая трубка ломается, осколки стекла и галогенный газ попадают прямо на пластины. Одна сломанная лампа может уничтожить целую партию изделий за считанные секунды. Мы потратили много времени на поиск способов предотвращения этого, в первую очередь, фокусируясь на форме ламп и их расположении.
«Золотое пространство»
Нельзя просто приложить лампу прямо к пластине. Необходимо оставить некоторое расстояние между ними. Обычно мы рекомендуем определенное безопасное расстояние, основываясь на мощности лампы и температуре, которая возникает при ее работе. Почему? Потому что при высоких температурах предметы деформируются. Если трубка деформируется под действием высоких температур, это расстояние помогает избежать контакта трубки с поверхностью пластины. Конечно, можно уменьшить это расстояние для увеличения направленности тепла, но это опасно. Даже незначительная деформация может привести к физическому повреждению пластин. Убедитесь, что крепления лампы запирены надежно, чтобы сохранить это расстояние.
Сохранение чистоты
Мы используем синтетический кварц высокой чистоты, чтобы свести к минимуму выделение газов. Но мы также считаем разумным использование дополнительного защитного слоя из кварца между лампой и пластиной. Это своего рода «телохранитель»: если лампа выходит из строя, защитный слой поглощает осколки, тем самым сохраняя пластину в целости. Мы также уделяем большое внимание уплотнениям на электродах, чтобы предотвратить утечку галогена. Если вы работаете круглосуточно, обязательно проверяйте затяжку соединений. Ослабленные соединения могут вызвать искры, а это приводит к быстрому разрушению лампы.
Мощность против спокойствия
Лампы с высокой мощностью отлично подходят для быстрого нагрева. Но чем выше мощность, тем большее внутреннее давление возникает. Нужно найти баланс: учитывать интенсивность нагрева и способность системы охлаждения справляться с теплом. Если система охлаждения не может уводить тепло от концов лампы, кварц начинает деформироваться и в конечном итоге трескается. Мы составили таблицы, показывающие соотношение мощности и расстояния. Они помогут вам найти оптимальные значения, чтобы получить необходимый уровень нагрева без риска разрушения лампы.