Hassas kimyasalların bulunduğu ortamlarda kızılötesi ısıtma kullanırken güvenliği sağlama
Eğer bir yarı iletken üretim tesisleri işletiyorsanız, durumu iyi biliyorsunuzdur. Kızılötesi lambalar, açıkçası ısığı sevmeyen kimyasal temizleyicilerin hemen yanında çalışıyor. Bu tür alanlarda sadece lamba kullanmak sorun yaratmaya neden olur.
Bunu çözmek için lambayı özel kuvars camından yapılmış bir kılıfla kaplarız. Bunu, ısı ve kimyasalların bir araya gelmesini engelleyen fiziksel bir duvar olarak düşünebilirsiniz.
Neden kuvars?
Yüksek saflıkta füzyonla elde edilen kuvars kullanmamızın basit bir sebebi var: Isı arttığında bile bozulmaz. Normal cam ise lamba ısındığı anda parçalanır.
Kuvars kılıfı, lambanın elektrik terminallerini ve filamentini korur. Asıl avantajı ise “anlık aşırı ısınma” olaylarını engellemesidir. Eğer bir kimyasal sızıntı olursa, kılıf bu uçucu gazların lambanın en sıcak bölgelerine ulaşmasını engeller. Bu sadece donanımı korumakla kalmaz; aynı zamanda tüm tesisin zarar görmesini önler.
Ters tarafı
Hiçbir şey mükemmel değildir. Kuvars harika bir malzemedir çünkü kısa dalga boyundaki kızılötesi ışınların çoğunun geçmesine izin verir. Isı tam da olması gereken yere, yani wafer veya substratın üzerine gider; böylece kılıf kendisi fırına dönüşmez.
Ancak verimlilikte küçük bir düşüş olur. Bir miktar ısı cam duvar tarafından emilir. Ancak bu büyük bir sorun değildir. Genellikle wattajı biraz artırarak veya odak uzaklığını ayarlayarak hedef sıcaklığı sağlarız.
Montajı
Bu kılıfları, mevcut tesis donanımlarının yerine kolayca takılacak şekilde tasarladık. Tüm sistemleri yeniden inşa etmenize gerek yok.
Ancak insanların genellikle hata yaptığı yer burasıdır: Sızdırmazlık. Kuvars tüpünün uçlarının havasız olması gerekir. Eğer termal döngüler sırasında sızdırmazlık bozulursa, güvenlik önlemimiz işe yaramaz hale gelir. Bu tür sızıntıları engellemek için özel contalar kullanıyoruz, ancak yine de dikkatli olmak gerekiyor. Periyodik bakımları sık sık yapmak, plansız duruşlarla uğraşmaktan çok daha ucuzdur.