На виробничій лінії на пластині розміром 300 мм знаходяться тисячі чипів, і кожен з них є чутливим до теплових коливань. У приміщенні для літографії процеси „м’якого“ та „жорсткого“ висушування допомагають забезпечити необхідну точність розмірів чипів. Якщо джерело інфрачервоного світла не може забезпечити однорідність освітлення, то контроль ширини ліній порушується, що призводить до зниження якості продукції.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили систему для нанесення інфрачервоного покриття на пластини, яка забезпечує точність до ±0,1°C по всій поверхні пластини. Для цього використовуються короткохвильові джерела інфрачервоного світла з точним контролем спектру. Тепловий профіль залишається стабільним під час кожної процедури. Ми також переконалися, що у чистих приміщеннях класу 1–100 не виникає жодних частинок. Система поєднується з існуючими елементами обладнання: зонами із кварцовим ізолятором, матеріалами з низьким рівнем вивільнення газів. Це забезпечує 24/7 роботу без перерв. Точність температури висушування фотополімеру також контролюється – її вимірюють, фіксують та задають як стандарт.
Важливо пам’ятати: потрібна сувора дисципліна під час виконання процедур. Ця система стабілізує тепловий баланс, тож критичні розміри чипів залишаються в межах допуску, а кількість бракованої продукції зменшується. Час виконання процедур скорочується, оскільки не потрібно чекати, поки тепловий профіль стабілізується. Енергоспоживання також зменшується завдяки високій ефективності джерел світла та можливості повторного використання. Результатом є менше бракованої продукції та лінія, яка працює згідно з метрологічними стандартами.
Крім того, ця система забезпечує прозорість процесу виробництва. Більше немає необхідності постійно контролювати теплові коливання чи пояснювати причини зменшення довжини продукту. Процес працює стабільно, а показники залишаються консистентними.
Перш ніж погодитися на використання цієї системи, необхідно розуміти її принципи роботи. Вам знадобиться окрема електропроводка та система відведення повітря, придатна для чистих приміщень. Система може працювати зі стандартними кріпленнями для пластин та інтерфейсами SEMI. Однак для повної налаштування необхідно врахувати особливості вашого фотополімеру та параметри процедури висушування. Плануйте дводенний період на налаштування системи та перевірку її ефективності.