Гніздо для інфрачервоної лампи для інструменту для обробки пластин
На поверхні пластини навіть напівградусна зміна температури під час процедур м’якого чи жорсткого випалювання може призвести до зміни критичних...
Конформна плівка для інфрачервоних чипів
На виробничій лінії на пластині розміром 300 мм знаходяться тисячі чипів, і кожен з них є чутливим до теплових коливань. У приміщенні для літографії...
Нагрівач у вигляді пластини для гнучкої електроніки
На виробничій лінії гнучкі підкладки та тонкоплівкові структури стають нестабільними, якщо температурний режим порушується. Навіть незначні зміни...
Опалювач для сушіння пластин після процедури CMP
Сушіння після процедуриCMP є однією з причин зниження якості продукції на виробничому майданчику. Сліди води, мікросколи та повторне осідання...