Trên dây chuyền sản xuất, một tấm wafer kích thước 300mm chứa hàng nghìn con chip nhỏ; mỗi con chip đều rất nhạy cảm với sự thay đổi nhiệt độ. Trong quá trình in ấn, các bước xử lý nhiệt giúp kiểm soát độ chính xác kích thước của các con chip. Nếu nguồn ánh sáng hồng ngoại không thể duy trì độ đồng đều, thì độ chính xác của kích thước các con chip sẽ bị ảnh hưởng, dẫn đến tỷ lệ sản phẩm lỗi tăng lên.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi đã phát triển hệ thống phủ lớp bảo vệ bằng ánh sáng hồng ngoại, giúp duy trì độ chính xác nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Hệ thống này sử dụng các nguồn ánh sáng hồng ngoại bước sóng ngắn, với khả năng kiểm soát phổ ánh sáng chính xác. Độ chính xác nhiệt độ được duy trì ổn định qua từng lần sản xuất. Chúng tôi cũng đã xác nhận rằng không có hạt bụi nào được tạo ra trong các phòng sạch loại 1–100. Hệ thống này hoạt động hiệu quả nhờ việc sử dụng các vật liệu ít phát khí, cùng với khả năng hoạt động 24/7 để tránh tình trạng dừng máy không mong muốn. Độ chính xác nhiệt độ trong quá trình xử lý các lớp phim quang học cũng được đo lường và ghi lại một cách chính xác.
Điều quan trọng là bạn cần tuân thủ các quy trình sản xuất một cách nghiêm ngặt, chứ không thể chỉ dựa vào sự đoán mò. Hệ thống này giúp duy trì độ ổn định về mặt nhiệt độ, giúp các kích thước quan trọng của các con chip vẫn nằm trong giới hạn cho phép. Thời gian sản xuất cũng được rút ngắn vì không cần phải chờ đợi cho đến khi nhiệt độ ổn định. Chi phí năng lượng cũng giảm đi nhờ hiệu suất cao của các nguồn ánh sáng hồng ngoại. Kết quả là số lượng sản phẩm lỗi giảm đi, và dây chuyền sản xuất hoạt động ổn định như đã được thiết lập theo tiêu chuẩn kỹ thuật.
Ngoài ra, hệ thống này còn giúp đảm bảo tính chính xác trong quy trình sản xuất. Không còn tình trạng phải điều chỉnh liên tục nhiệt độ hay giải thích về sự thay đổi kích thước các con chip nữa. Quy trình sản xuất diễn ra ổn định, và các con số đo lường vẫn giữ nguyên giá trị.
Trước khi bắt đầu sử dụng hệ thống, bạn cần hiểu rõ cấu hình của nó. Bạn cần có mạch điện riêng biệt và hệ thống thông gió phù hợp với tiêu chuẩn phòng sạch. Hệ thống này có thể hoạt động với các kẹp wafer tiêu chuẩn và các giao diện SEMI. Tuy nhiên, việc kiểm tra toàn diện hệ thống vẫn cần phải được thực hiện với các loại phim quang học và quy trình xử lý cụ thể của bạn. Hãy dành hai ngày để điều chỉnh các thông số và kiểm tra độ chính xác của hệ thống theo kế hoạch đã đặt ra.