Ngăn chặn các bóng đèn hồng ngoại gây hỏng các tấm wafer của bạn
Trong các nhà máy sản xuất chất bán dẫn với công suất cao, việc một bóng đèn hồng ngoại bị hỏng không chỉ gây ra phiền toái hay gián đoạn trong quá trình sản xuất mà còn là một thảm họa thực sự. Khi ống thủy tinh chứa bóng đèn bị vỡ, các mảnh thủy tinh và khí halogen sẽ rơi trực tiếp xuống các tấm wafer. Chỉ cần một bóng đèn bị hỏng thôi cũng có thể phá hủy toàn bộ số wafer đang được xử lý trong vài giây. Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn điều này, chủ yếu bằng cách xem xét cách thiết kế bóng đèn và vị trí lắp đặt chúng.
“Khoảng cách lý tưởng”
Bạn không thể đặt bóng đèn ngay sát tấm wafer được. Cần phải có một khoảng cách nhất định giữa chúng. Chúng tôi thường đề xuất một khoảng cách an toàn nhất định, dựa trên công suất của bóng đèn và nhiệt độ tạo ra. Tại sao ư? Bởi vì các vật thể sẽ biến dạng khi bị nóng lên. Nếu ống thủy tinh bị uốn cong dưới tác động của nhiệt độ cao, khoảng cách này sẽ giúp ngăn chặn việc bóng đèn chạm vào tấm wafer. Tất nhiên, bạn có thể thu hẹp khoảng cách này để tăng lượng nhiệt cung cấp, nhưng đó là một hành động rất nguy hiểm. Chỉ cần một chút biến dạng nhỏ thôi cũng có thể gây hư hại cho tấm wafer. Hãy đảm bảo rằng các khung lắp đặt bóng đèn được cố định chắc chắn để duy trì khoảng cách lý tưởng này.
Giữ cho mọi thứ sạch sẽ
Chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao để giảm thiểu việc thoát khí từ bóng đèn. Nhưng chúng tôi cũng cho rằng việc sử dụng lớp bảo vệ bằng thủy tinh giữa bóng đèn và tấm wafer là một ý tưởng hay. Hãy coi đó như một “vệ sĩ” bảo vệ tấm wafer khỏi các mảnh vỡ từ bóng đèn. Chúng tôi cũng chú trọng đến việc đảm bảo tính kín khít của các điện cực, nhằm ngăn chặn sự rò rỉ khí halogen. Nếu bạn hoạt động 24/7, hãy kiểm tra độ chặt của các kết nối điện. Các kết nối lỏng lẻo có thể gây ra hiện tượng phóng điện, và điều này sẽ làm hỏng bóng đèn nhanh hơn dự kiến.
Công suất vs. Sự an toàn
Các bóng đèn có công suất cao rất hữu ích để tăng tốc độ sản xuất. Nhưng công suất càng cao thì áp suất bên trong bóng đèn cũng càng lớn. Đây là một sự cân bằng cần được xem xét kỹ lưỡng. Bạn cần cân nhắc giữa mật độ nhiệt và khả năng làm mát của hệ thống. Nếu hệ thống làm mát không thể loại bỏ nhiệt từ các đầu bóng đèn, thủy tinh sẽ bị căng thẳng và cuối cùng bị nứt. Chúng tôi đã chuẩn bị một số bảng liệt kê về mối quan hệ giữa công suất và khoảng cách lắp đặt. Những bảng này sẽ giúp bạn tìm ra mức công suất lý tưởng mà không cần lo lắng về việc bóng đèn bị hỏng.