Tại sao các bộ phản xạ tia hồng ngoại lại quan trọng trong quá trình khử chì trong sản xuất chip
Ngành công nghiệp bán dẫn đang nỗ lực hết sức để đạt được các tiêu chuẩn không chứa chì và tiết kiệm năng lượng. Trong thời gian dài, chúng ta vẫn sử dụng các lò sưởi thông thường, nhưng thực ra việc làm nóng không khí bên trong lò là một cách lãng phí năng lượng khổng lồ.
Đó là lý do tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng phương pháp khử chì bằng tia hồng ngoại. Tia hồng ngoại có thể tác động trực tiếp lên bề mặt wafer. Nhưng điều quan trọng là bạn không thể chỉ đơn giản đặt một chiếc đèn vào đó và coi như xong. Bạn cần một bộ phận phản xạ được thiết kế riêng cho mục đích này.
Hãy ngừng lãng phí năng lượng!
Hãy tưởng tượng cách hoạt động của đèn hồng ngoại: nó phát ra nhiệt ở mọi hướng. Nếu không có bộ phận phản xạ, một nửa năng lượng đó sẽ bị lãng phí, chỉ dùng để làm nóng các thành của máy móc. Điều này thật lãng phí.
Chúng tôi thiết kế các bộ phận phản xạ sao cho có thể thu hồi lại năng lượng thừa và đẩy nó trở lại lên bề mặt wafer. Nhờ vậy, chúng ta có thể tăng cường mức nhiệt mà không cần phải tăng công suất đèn. Quá trình này diễn ra nhanh hơn nhiều. Khi nhiệt độ đạt được nhanh chóng, thời gian xử lý cũng giảm đi.
Những vật liệu chất lượng cao
Chúng tôi không sử dụng những lớp phủ kém chất lượng. Để đảm bảo môi trường làm việc sạch sẽ và tuân thủ các quy định môi trường, chúng tôi sử dụng vật liệu nhôm có độ tinh khiết cao hoặc các bề mặt được mạ vàng.
Những vật liệu này có thể chịu được áp lực nhiệt từ đèn hồng ngoại mà không bị biến dạng. Chúng tôi tập trung vào khả năng phản xạ ánh sáng một cách hiệu quả – tức là ánh sáng được phản xạ trở lại như gương. Nếu ánh sáng bị tán xạ, sẽ tạo ra những điểm nóng. Những điểm nóng này có thể khiến wafer bị nứt. Không ai muốn điều đó xảy ra.
Thực tế trong môi trường sản xuất
Đây không phải là giải pháp “cắm vào và quên đi”. Khi sử dụng bề mặt có khả năng phản xạ cao, nhiệt lượng sẽ tập trung ở một điểm duy nhất. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh, bạn sẽ gặp rắc rối. Chúng tôi đã từng chứng kiến các dây điện bị cháy hoặc các linh kiện bị biến dạng do nhiệt độ quá cao.
Đó là một sự cân bằng cần được duy trì. Bạn cần điều chỉnh chính xác vị trí tập trung nhiệt và khoảng cách giữa bộ phận phản xạ và wafer.
Việc chuyển sang phương pháp khử chì bằng tia hồng ngoại giúp bạn loại bỏ các chất hóa học và giảm lượng khí thải carbon trong phòng sạch. Đây là cách đơn giản nhất để đưa dây chuyền sản xuất của bạn đạt tiêu chuẩn không chứa chì, mà không cần phải liên tục đối phó với các vấn đề liên quan đến thiết bị.