في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، يجب الحرص على دقة درجة حرارة الخبز؛ فأي انحراف بمقدار نصف درجة في درجة الحرارة قد يؤدي إلى تغييرات في خصائص المادة المستخدمة في الطباعة. التحكم في عرض الخطوط، ومستوى الالتصاق، وكثافة العيوب… كل ذلك يعتمد على الحفاظ على استقرار درجة الحرارة. لذلك، قمنا بتصميم مصابيح الأشعة تحت الحمراء بحيث تساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة.
الجزء التقني من العملية بسيط: أشعة الأشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة تصيب الرقاقة مباشرة، وتساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة. استخدمنا مصابيح هالوجينية من الكوارتز، مصممة لتوفير استجابة سريعة للتغيرات في درجة الحرارة، مما يساعد في الحفاظ على استقرار درجة الحرارة على سطح الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية. يمكن التحكم في درجة الحرارة بدقة، مما يساعد في الحفاظ على الخصائص المطلوبة للرقاقات في كل دفعة.
تم تصميم هذه الأجهزة بحيث تتناسب مع بيئات الغرف النظيفة؛ حيث تستخدم مواد لا تنتج غازات، بالإضافة إلى تصميمات محكمة لمنع تكون الجسيمات، مما يساعد في الحفاظ على مستوى الجسيمات في النطاق المطلوب في بيئات من الفئة 1–100. تم تصميم هذه الأجهزة لتعمل على مدار 24 ساعة، وتستطيع العمل لأكثر من 5,000 ساعة مع الحفاظ على دقة الأداء.
السبب في أهمية ذلك هو أن استمرارية العمل ومعدل الإنتاج يعتمدان على الاستقرار في درجة الحرارة. يساعد ذلك في تجنب إعادة معالجة الرقاقات بسبب عدم استقرار درجة الحرارة، كما يساعد في تقليل الوقت المستغرق في العملية. الاستجابة السريعة للتغيرات في درجة الحرارة تساعد في تقليل وقت العملية دون التضحية باستقرار الأداء، كما يساعد في تقليل هدر الطاقة. في الواقع، يؤدي ذلك إلى تحسين توزيع الأبعاد، وتقليل العيوب، بالإضافة إلى تسهيل عملية الصيانة.
ملاحظة مهمة: تتطلب مصابيح الأشعة تحت الحمراء تحديد مسافة الإمالة بدقة، بالإضافة إلى تحقيق توافق في خط الرؤية، لضمان الاستقرار في درجة الحرارة. يجب التخطيط لتكامل الأجهزة مع بعضها البعض، بالإضافة إلى التأكد من توافق الجهد والموصلات، لتجنب أي مشاكل أثناء العمل. عند تحقيق التوافق الصحيح، يعمل الجهاز بشكل مستقر ومتكرر، وتحت السيطرة.