ফ্যাব ফ্লোরে, সফট বেকিং প্রক্রিয়ায় ১°C এর মতো ছোট্ট পরিবর্তনও একটি সম্পূর্ণ ওয়েফারকে নষ্ট করে দিতে পারে। এই ঝুঁকি দূর করার জন্য আমরা কাস্টমাইজড ইনফ্রারেড হিটার তৈরি করেছি। এগুলো ওয়েফার শুকানো, ফটোরেসিস্ট বেক করা, প্যাকেজিং করা এবং ক্লিন-আপ প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
এগুলো নিয়র-ইনফ্রারেড রশ্মি ব্যবহার করে কাজ করে; ফলে লক্ষ্যবস্তুটিকে সরাসরি উত্তপ্ত করা হয়—কোনো দূষণ নেই। ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে, আর এক শট থেকে অন্য শটে তাপমাত্রার পরিবর্তন ±০.৫°C এর মধ্যে থাকে। প্রতিক্রিয়ার সময় দুই সেকেন্ডেরও কম; ফলে নিয়ন্ত্রণ সঠিক থাকে। কোয়ার্টজ/সিরামিক উপাদান ব্যবহার করে ১–১০০ ক্লাসের ক্লিনরুম তৈরি করা যায়। এগুলো ২৪/৭ কাজ করার জন্য তৈরি করা হয়েছে; এগুলোর MTBF হাজার হাজার ঘন্টা। অপ্রত্যাশিত বন্ধতা কমানোর জন্য মডিউল বদলানো যায়।
লিথোগ্রাফিতে, সফট বেকিং ও হার্ড বেকিং ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। আমাদের হিটারগুলো ফটোরেসিস্টের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে লাইন-ওয়েডথের পরিবর্তন কমে যায় এবং উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে। ওয়েফার শুকানো ও ক্লিন-আপ প্রক্রিয়ায় দ্রুত ও সমানভাবে তাপ দেওয়া হয়; ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠে কোনো দাগ বা জলের চিহ্ন থাকে না।
প্যাকেজিংয়েও একই প্ল্যাটফর্মটি ব্যবহৃত হয়; ফলে এনক্যাপসুলেন্ট ও আন্ডারফিলের জন্য সুসংগত কিউরিং প্রক্রিয়া সম্ভব হয়। এতে সাইকেল টাইম কমে যায়, আর আঠালোতা ও নির্ভরযোগ্যতা বজায় থাকে। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ তাপ সরাসরি প্রক্রিয়ায় যায়, বড় চেম্বারে নয়।
গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো: এই হিটারগুলো আপনার টুলের জন্য কাস্টমাইজড করা হয়েছে। চেম্বারের জ্যামিতি, ক্ল্যাম্পের ধরন ও সেন্সরের অবস্থান সবই গুরুত্বপূর্ণ। কমিশনিং প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয়; আর স্টেবল সেটপয়েন্ট বজায় রাখতে পরিষ্কার ও শুষ্ক বায়ু প্রয়োজন। আপনার সাবস্ট্রেটের জন্য স্পেকট্রাল আউটপুট ম্যাচ করা অপরিহার্য; আমরা প্রতিটি প্রক্রিয়ার জন্য ইমিসিভিটি ও রিফ্লেক্টিভিটি নিয়ন্ত্রণের জন্য ডেটা সরবরাহ করি।