ওজোন-মুক্ত আইআর ব্যবহার করে চিপ তৈরিতে কার্বন কমানো সম্ভব।
সেমিকন্ডাক্টর তৈরি করতে প্রচুর তাপ ও নির্ভুলতা প্রয়োজন। কিন্তু সত্যি বলতে, ঐ তাপীয় প্রক্রিয়াগুলো সংক্রান্ত আমাদের প্রচলিত পদ্ধতিগুলো কার্বন উৎপাদনের জন্য অত্যন্ত ক্ষতিকর। আমরা ওজোন-মুক্ত আইআর ল্যাম্প ব্যবহার করে এই সমস্যার সমাধান করার চেষ্টা করছি। এটা শক্তি অপচয় রোধ করার একটি সহজ উপায়; আর শর্ট-ওয়েভ রেডিয়েশন থেকে উৎপন্ন অবাঞ্ছিত পদার্থগুলো থেকেও মুক্তি পাওয়া যায়।
ওজোনের সমস্যা
সাধারণ শর্ট-ওয়েভ আইআর ল্যাম্পগুলো ১৮৫ন্যানোমিটার থেকে ২৫৪ন্যানোমিটার পরিসরে রেডিয়েশন নির্গত করে; ফলে বাতাসের অক্সিজেন ওজোনে রূপান্তরিত হয়। ক্লিনরুমে ওজোন অত্যন্ত ক্ষতিকর—এটা একটি অবাঞ্ছিত দূষক।
আমরা এই সমস্যার সমাধান করেছি ডোপড ফিলামেন্ট বা বিশেষ কোয়ার্টজ কোটিং ব্যবহার করে। এতে VUV রেডিয়েশন আটকে যায়। ফলে তীব্র তাপ থাকে, কিন্তু গ্যাস সঞ্চয় হয় না।
আর যেহেতু ওজোন নেই, তাই বিপুল শক্তি খরচ করে এই সিস্টেমগুলো ব্যবহার করার দরকার নেই। এটা আপনার সংস্থার শক্তি ব্যয় কমানোর জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
বাস্তব জগতে এটা কীভাবে কাজ করে?
এই ল্যাম্পগুলো দ্রুততার জন্য তৈরি করা হয়েছে। এগুলো উচ্চ ওয়াটেজে কাজ করে এবং দ্রুত উত্তপ্ত হয়। লক্ষ্য হলো “অপচয়ী তাপ” রোধ করা—অর্থাৎ যে তাপ মেশিনটি উত্তপ্ত হওয়ার সময় উৎপন্ন হয়।
পুরো চেম্বারকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে, আমরা তাপটিকে সরাসরি ওয়েফারের দিকে পাঠাই। এটা বিদ্যুৎ ব্যবহারের জন্য অত্যন্ত কার্যকর উপায়।
এছাড়া, এই ল্যাম্পগুলো সহজেই বদলানো যায়। আপনি এগুলোকে বিদ্যমান সিস্টেমগুলোর জায়গায় সরাতে পারেন। আমরা শক্তিশালী কোয়ার্টজ ব্যবহার করি; যাতে তাপমাত্রা দ্রুত পরিবর্তন হলেও ল্যাম্পগুলো নষ্ট না হয়।
কিছু সমস্যা
তবে এটা সম্পূর্ণ সহজ নয়। কিছু সমস্যা রয়েছে।
যখন দ্রুত তাপ উৎপন্ন করার চেষ্টা করা হয়, তখন পাওয়ার সাপ্লাইগুলো চাপে পড়ে। আপনাকে নিশ্চিত হতে হবে যে আপনার ইলেকট্রিক্যাল প্যানেলগুলো এই চাপ সামলাতে পারবে।
দূরত্বও গুরুত্বপূর্ণ। যদি ল্যাম্পগুলো খুব কাছাকাছি থাকে, তাহলে ওয়েফারে গরম জায়গা তৈরি হয়। আবার খুব দূরে থাকলে কার্যকারিতা কমে যায়। আমরা আরও শিল্ডিং ব্যবহার করি, যাতে তাপটি নির্দিষ্ট জায়গায় থাকে এবং মেশিনের অন্যান্য অংশে না ছড়ায়।