লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে কী ঘটে। অর্ধ ডিগ্রি পরিমাণের ছোটখাটো পরিবর্তনও ফোটোরেসিস্টের গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলোকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে পরিবর্তন করে দিতে পারে। এর ফলে ওয়েফারগুলো অকার্যকর হয়ে যায়। আমরা থার্মাল প্রভাবগুলোকে নিয়ন্ত্রণ করার জন্য ইনফ্রারেড ল্যাম্প ব্যবহার করি; এতে ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। এই সিস্টেমটি খুবই পরিষ্কার—কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না; এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর জন্য উপযুক্ত। এটি স্ট্যান্ডার্ড SEMI ইন্টারফেসের সাথে সংযুক্ত থাকে। 5,000+ ঘন্টা ধরে এর কার্যকারিতা ধ্রুবক থাকে; তীব্রতা হ্রাস হয় 5% এর কম।
ফোটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় থার্মাল প্রভাবগুলোকে নিয়ন্ত্রণ করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ। বেকিং প্রক্রিয়াটি দ্রুত সম্পন্ন হওয়া উচিত; তারপর তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকা উচিত। আমাদের ল্যাম্পগুলো কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে কম শক্তি ব্যবহার করেই বেশি পরিমাণে ওয়েফার তৈরি করা যায়।
একই ধরনের থার্মাল প্রোফাইল প্রতিবারই পুনরাবৃত্ত হয়। এই নির্ভরযোগ্যতার কারণেই CD নিয়ন্ত্রণ ঠিক থাকে এবং উৎপাদন কার্যক্রম সঠিকভাবে চলে। 7×24 ঘন্টা কাজ করার ফলে অপ্রত্যাশিত বন্ধ হওয়ার ঘটনা শূন্য থাকে; রক্ষণাবেক্ষণও নির্ধারিত সময়েই সম্পন্ন হয়।
কিছু বিষয় মনে রাখা দরকার। ইনস্টলেশন খুবই সহজ; কিন্তু ওয়েফারের সমতল অঞ্চলের সাথে ল্যাম্পটির সারিবদ্ধতা এবং ল্যাম্প থেকে সাবস্ট্রেট পর্যন্ত의 দূরত্বকে খুব সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হয়। না হলে ওয়েফারগুলোর সামঞ্জস্যহীনতা দেখা দেয়।
ল্যাম্পটি খুব গরম হয়; তাই থার্মাল আইসোলেশন ও ইন্টারলক অপরিহার্য। আর ল্যাম্পটির স্পেকট্রামকে ফোটোরেসিস্টের অবশোষণ ব্যান্ডের সাথে মিলিয়ে নিতে হয়—বিভিন্ন ধরনের ফোটোরেসিস্টের জন্য বিভিন্ন ধরনের ইনফ্রারেড প্রোফাইল প্রয়োজন; তাই আমরা সিস্টেমটিকে সেই অনুযায়ী ডিজাইন করি।