Vakuumkompatible Infrarotheizer: Die echte Lösung für hochwertige Wafernherstellungsanlagen
Wir haben diese vakuumkompatiblen Infrarotheizer aus einem bestimmten Grund entwickelt: um in der extremen Umgebung der fortschrittlichen Halbleiterverarbeitung zu funktionieren. Zudem sollen sie eine konstante, hohe Wärmestärke liefern – genau dort, wo sie benötigt wird.
Wir haben unsere Geräte direkt mit den Produkten großer internationaler Marken verglichen – und zwar in echten Wafernherstellungsanlagen. Die Zahlen sprechen für sich.
Kraft, Spannung und Größe – das Wichtige im Überblick
Der Kern des Heizers besteht aus einem 300-mm-Quartstift. Seine Größe ermöglicht es ihm, problemlos in Standardwerkzeuge einzubaut werden – sodass keine Umbauten erforderlich sind.
Die Eingangsspannung von 400 V ist keine willkürliche Wahl. Sie ermöglicht es uns, eine hohe Stromstärke durch ein kompaktes Design zu leiten – was wiederum eine hohe Leistungsdichte ergibt. Dadurch wird eine schnelle Temperaturerhöhung erreicht.
Die Leistung von 2500 W bedeutet, dass eine schnelle Erhöhung der Temperatur möglich ist – auch unter Vakuumbedingungen. Allerdings muss die Kühlung der Kammer dazu in der Lage sein. Wenn der Wärmetauscher nicht richtig dimensioniert ist, führt das zu zusätzlicher Wärme im Raum.
Die Details, die zählen
Im Inneren des Quarzrohrs sorgt der Halogenzyklus dafür, dass die Glühfäden stabil bleiben. Dadurch wird ein Verschleiß nach Tausenden von Temperaturschwankungen verhindert.
Der Quarzüberzug wurde speziell wegen seiner hohen Transmissionsfähigkeit im Kurzwelleninfrarotbereich ausgewählt. Dadurch erfolgt eine direkte Heizung – ohne zusätzliche Masse.
Eine schützende Schicht verhindert Kontaminationen und Ausgasungen unter Vakuumbedingungen – somit bleibt die Kammer sauber.
Und der R7s-Anschluss? Das ist einfach eine kluge, praktische Lösung. Er stellt eine sichere Verbindung her, kann die notwendigen Ströme leiten – und macht den Austausch der Lampe einfach.
Was das für Ihre Wafernherstellungsanlage bedeutet
In einer hochwertigen Wafernherstellungsanlage muss der Heizer präzise und lokalisierte Wärme liefern – ohne Partikel freizusetzen oder Prozesse zu stören.
Unser vakuumkompatabler Infrarotheizer erfüllt genau diese Anforderungen. Er lenkt die Energie genau dorthin, wo sie benötigt wird – dadurch verkürzen sich die Bearbeitungsdauern, und weniger Zeit muss für Wartungsarbeiten aufgewendet werden.
Er ist für die anspruchsvollen Bedingungen in Reinräumen konzipiert – wo Zuverlässigkeit entscheidend ist.
Wenn Sie sehen möchten, was er leisten kann, stellen wir unseren Heizer in Ihre Anlage ein. Lassen Sie die Daten für sich sprechen.