وقتی که ویفرهای حسگرهای MEMS را پس از شستشوی شیمیایی خشک میکنید، به گرما نیاز دارید؛ و این گرما باید در سرعت زیادی تأمین شود. اما یک مشکل وجود دارد: اگر در محیطی با بخارات قابل اشتعال یا منفجره کار میکنید، لامپهای مادون قرمز استاندارد نه تنها ابزاری برای گرم کردن هستند، بلکه خطرناک نیز هستند.
هیچکس نمیخواهد در آزمایشگاه آتشسوزی رخ دهد.
به همین دلیل، ما روشهای متفاوتی برای این کار استفاده میکنیم. از سیستمهای بستهبندی ویژهای استفاده میکنیم که عنصر گرمایشی را در یک منطقه ایمن قرار میدهد؛ منطقهای که کاملاً از هوای اطراف جدا شده است.
جلوگیری از ورود مواد خطرناک
لولههای کوارتز مادون قرمز را در یک پوشش مقاوم از جنس زافیر یا کوارتز با کیفیت بالا پوشاندهایم؛ این پوشش مانند یک سپر عمل کرده و جلوی تماس ترکیبات ORC با رشتههای گرم را میگیرد.
حتی اگر پوشش از بین برود، گازها به جای برخورد با رشتههای گرم، به فضای کنترلشدهای برخورد خواهند کرد. برای اطمینان از عدم نشتی در نقاط اتصال، از روشهای لحیمکاری در دماهای بالا یا استفاده از مواد مناسب برای بستهبندی استفاده میکنیم. هدف، ایجاد آرامش ذهنی است.
کنترل گرما
مشکل اینجاست که لامپهای مادون قرمز با شدت بالا، دمای بسیار بالایی دارند؛ اگر پوشش خارجی لامپ بیش از حد گرم شود، میتواند باعث اشتعال بخارات اطراف شود.
برای جلوگیری از این اتفاق، اغلب از پوششهای دوبل استفاده میکنیم؛ پوششهایی که پر از گاز بیفعال یا خلأ هستند. این روش به امواج مادون قرمز اجازه میدهد تا به راحتی از میان پوشش عبور کنند و ویفرها را خشک کنند؛ در حالی که دمای سطح خارجی لامپ کنترل میشود.
اما باید تعادل مناسبی برقرار کرد؛ اگر عایقبندی بیش از حد انجام شود، دمای داخل لامپ بیش از حد بالا خواهد رفت. اگر توان لامپ بیش از حد باشد، رشتههای گرم لامپ زودتر از حد معمول خراب خواهند شد.
نصب لامپ
ما این گرمکنها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در شرایط مداوم کار کنند، بدون اینکه دچار مشکل شوند. حتی قطعات مورد استفاده برای نصب لامپ نیز از موادی ساخته شدهاند که احتمال ایجاد جرقه ندارند؛ بنابراین نیازی نیست نگران ایجاد جرقه در حین نصب باشید.
یک نکته آخر: حتماً سیمکشی لامپ را بررسی کنید؛ اطمینان حاصل کنید که سیمکشی برای تحمل بار حرارتی لامپ مناسب است. در غیر این صورت، عایقبندی لامپ از بین خواهد رفت و لامپ دوباره دچار مشکل خواهد شد.