Comment maintenir vos waffers propres : la vérité sur le chauffage infrarouge
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez déjà ce cauchemar. Une seule particule de poussière, un éclat microscopique ou même un gaz qui s’échappe d’un composant suffisent pour transformer toute votre production en déchets.
Lorsqu’il s’agit de chauffer des waffers en silicium, on ne peut pas utiliser n’importe quelle lampe. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges. C’est le seul moyen d’être sûr qu’aucune impureté ne se retrouve sur les waffers.
Pourquoi le quartz est si important
En réalité, le quartz standard n’est pas vraiment “pur”. Il contient des impuretés qui commencent à se vaporiser lorsque la température augmente. Cela représente un vrai danger pendant la phase de mise en marche des équipements.
Nous utilisons donc du quartz de haute pureté pour éviter cet effet. Pensez au tube en quartz comme à une bulle hermétiquement fermée. Il empêche le filament de tungstène de être exposé à l’air ambiant, afin qu’il ne soit jamais en contact avec les impuretés présentes dans la salle propre.
Obtenir la température idéale
Il est essentiel que la température soit uniforme sur tout le surface du wafer. Aucun point chaud, aucune zone froide.
Nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde. Cela permet au heat de pénétrer directement dans le substrat, plutôt que de chauffer seulement les parois de la chambre. De plus, grâce aux filaments de haute densité, les lampes réagissent presque instantanément lorsque le contrôleur PID ajuste la puissance.
Mais attention : surveillez bien les variations de tension. Si vous connectez ces lampes en série, la résistance peut entraîner des zones froides sur le wafer. Je recommande d’utiliser des alimentations dédiées. C’est le meilleur moyen de garantir une puissance constante pour chaque lampe.
La réalité de leur installation
Ces lampes sont conçues pour être installées facilement dans vos équipements de semi-conducteurs existants. Mais n’oubliez pas le système de refroidissement. Ces lampes génèrent beaucoup de chaleur en un espace restreint. Si le flux d’air est insuffisant, cela provoquera une surcharge thermique sur les extrémités du quartz. Cela peut entraîner rapidement son endommagement.
Assurez-vous donc que vos connexions soient propres et que les joints soient étanches. Ainsi, l’intégrité du vide restera parfaite.