Arrêtez de chauffer les parois de votre machine
La plupart des éléments de chauffage sont très gênants : ils dispersent la chaleur partout, ce qui est un vrai problème lors de la fabrication d’équipements pour semi-conducteurs. On se retrouve donc avec des “parois chaudes”, où le châssis de la machine absorbe inutilement de l’énergie. C’est un double problème : on gaspille de l’énergie, et les opérateurs doivent éviter de se brûler pour que la machine puisse continuer à fonctionner. Sans parler du risque que les composants internes de la machine se déforment.
Nous avons trouvé une solution meilleure : des lampes infrarouges directionnelles.
Comment ça marche en réalité ?
Pensez-y moins comme à un radiateur, et plus comme à une lampe de poche. Au lieu de réchauffer tout l’air dans la chambre, les lampes infrarouges émettent des rayonnements électromagnétiques en ligne droite. La chaleur ne touche donc que ce qu’elle doit atteindre – votre wafer ou votre substrat. Tout le reste reste froid, car il se trouve hors de portée de ces rayons. Cela signifie que vous pouvez enfin cesser de mettre en place ces systèmes de refroidissement complexes sur l’extérieur des équipements.
Comment cela fonctionne dans la pratique ?
Selon vos besoins, vous pouvez utiliser des lampes infrarouges à ondes courtes ou moyennes pour diriger la chaleur exactement là où elle doit aller. En combinant celles-ci avec un contrôleur PID, vous obtenez un contrôle de température extrêmement précis.
Le meilleur aspect ? La température à la surface extérieure de l’équipement diminue considérablement. Vous n’avez plus à lutter contre cette chaleur constante qui rend difficile la gestion des chambres à haute température.
L’inconvénient (car il y en a toujours un…)
Le chauffage directionnel exige une grande précision. Si votre pièce n’est pas positionnée correctement, il y aura des zones froides sur votre substrat. Il faut donc bien ajuster les réflecteurs pour assurer une répartition uniforme de la chaleur.
Et attention à la puissance : les lampes infrarouges à haute puissance consomment beaucoup d’énergie. Assurez-vous que votre système électrique peut supporter cette charge initiale, sinon vous passerez votre temps à réinitialiser les disjoncteurs.
Mais une fois que tout est bien calibré, les parois de votre équipement ne fonctionneront plus comme de gigantesques dissipateurs de chaleur. Vous économiserez de l’énergie, et votre équipe pourra travailler autour de la machine sans crainte de se brûler.