Arrêtez de chauffer les parois de votre appareil (et commencez plutôt à chauffer les wafer)
Il s’agit là d’une tâche qui exige une grande précision pour atteindre la température idéale des wafer en semi-conducteurs. Mais si vous utilisez des lampes infrarouges standards, c’est comme si vous luttiez contre un ennemi invincible. Ces lampes émettent de la chaleur dans toutes les directions, ce qui signifie que une grande partie de l’énergie est consacrée à réchauffer les parois intérieures de l’appareil. C’est un gaspillage d’énergie. Pire encore, cela transforme le châssis de l’appareil en un véritable radiateur, ce qui peut même causer des brûlures chez l’opérateur lors des interventions de maintenance. Ce n’est pas idéal.
La solution est assez simple : arrêtez d’émettre de la chaleur de manière aléatoire, et commencez plutôt à diriger cette chaleur vers l’endroit voulu. Nous utilisons donc un système de chauffage infrarouge dirigé pour résoudre ce problème.
Comment ça marche en réalité ?
Imaginons une lampe en quartz standard : elle émet de la chaleur dans un cercle de 360 degrés. Dans un appareil destiné au chauffage des wafer, la moitié de cette énergie se perd dans les parois métalliques. Nous utilisons des réflecteurs et des filtres spéciaux pour concentrer cette énergie exactement là où elle est nécessaire : à la surface du wafer. Ainsi, la vitesse de chauffage reste élevée, tandis que le reste de l’appareil reste froid. Plus besoin de transformer l’intérieur de l’appareil en four.
Le point difficile : obtenir une bonne alignment
Ces lampes sont conçues pour être installées dans des espaces restreints, mais elles ne fonctionnent pas simplement en étant branchées directement. Le point focal est essentiel. Si la lampe est légèrement décalée, vous rencontrerez des problèmes : il y aura des zones froides sur le wafer et des zones chaudes sur les parois. Cela nécessite une grande précision, ainsi qu’une main ferme pour ajuster correctement la lampe.
Il y a aussi la question du flux d’air. Une lampe à haute puissance est effectivement puissante, mais sa tête elle-même devient très chaude. Si le système de refroidissement interne n’est pas suffisant pour évacuer cette chaleur, les connecteurs ou les revêtements des réflecteurs peuvent se détériorer avec le temps. Il faut donc trouver un équilibre entre la puissance de la lampe et la capacité de refroidissement de l’appareil.
Les avantages pour votre équipe
Lorsque vous cessez de laisser de la chaleur s’infiltrer dans le châssis de l’appareil, tout devient plus simple. Vous n’avez plus besoin de mettre en place des isolants épais sur tous les panneaux internes juste pour protéger les gens. Cela facilite également la maintenance de l’appareil : vous pouvez ouvrir la chambre et remplacer les pièces sans avoir à attendre des heures que le métal refroidisse. C’est une façon plus sûre et plus rapide de travailler.