अपनी ऊर्जा को बर्बाद करना बंद करें: सोने के रिफ्लेक्टर्स क्यों महत्वपूर्ण हैं?
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण में ऊर्जा का अपव्यय न केवल अकुशलता है, बल्कि यह डिज़ाइन में ही एक खामी है।
अधिकांश मानक इन्फ्रारेड हीटर, ऊर्जा को हर दिशा में फैला देते हैं; इसके परिणामस्वरूप, उस मूल्यवान ऊर्जा का बड़ा हिस्सा वेफर को गर्म करने के बजाय हीटर के चेसिस को ही गर्म कर देता है। हमें लगा कि इसका कोई बेहतर तरीका होना चाहिए। सोने से ढके रिफ्लेक्टरों का उपयोग करके, हम उस अनावश्यक ऊर्जा को वापस वेफर पर ही भेज सकते हैं।
तर्क बहुत ही सरल है।
अधिकांश हीटर, 360 डिग्री के कोण पर ही ऊर्जा उत्सर्जित करते हैं; इसका मतलब है कि आपकी ऊर्जा का आधा हिस्सा शुरू से ही गलत दिशा में ही जाता है। हम उच्च शुद्धता वाले सोने के रिफ्लेक्टरों का उपयोग करते हैं; ऐसे रिफ्लेक्टर 98% तक इन्फ्रारेड तरंगदैर्घ्यों को परावर्तित करते हैं।
इससे न केवल ऊर्जा-खर्च कम होता है, बल्कि वेफर पर ऊष्मा का संचय भी बढ़ जाता है। ऐसे में आपको पावर सप्लाई की शक्ति बढ़ाने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। यह तो काम को पूरा करने का एक बेहतर एवं चतुर तरीका है।
लेकिन यहाँ एक समस्या है…
जब ऊर्जा को इतनी तीव्रता से केंद्रित किया जाता है, तो लैंप के इलेक्ट्रोडों पर बहुत अधिक गर्मी पैदा हो जाती है। यदि आप तेज़ गति से तापमान बढ़ाने हेतु अधिक ऊर्जा का उपयोग करते हैं, तो लैंप के इलेक्ट्रोडों पर दबाव पड़ेगा।
इसे नज़रअंदाज़ नहीं किया जा सकता। आपको अपनी कूलिंग सिस्टम को ऐसे ही डिज़ाइन करना होगा कि वह लैंप के इलेक्ट्रोडों पर पड़ने वाले दबाव को संभाल सके। अन्यथा, लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा।
वास्तविक दुनिया में इसका उपयोग…
हमने ऐसे रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें सीधे ही लैंपों में लगाया जा सके। आपको अपने वेफर स्टेज को पुनः डिज़ाइन करने की आवश्यकता ही नहीं है। हम सोने की परत को वैक्यूम डिपोजिशन विधि से ही लगाते हैं; ऐसे में परत समान रहती है, और सिस्टम में तापीय परिवर्तन होने पर भी वह परत टूटती नहीं है।
जब आपको पूरे वेफर पर समान तापमान चाहिए होता है, तब ही आपको इसका वास्तविक लाभ मिलता है। सोने के रिफ्लेक्टरों की आकृति को समायोजित करके, हम उन “ठंडे क्षेत्रों” को दूर कर सकते हैं।
यह तो तापीय समस्याओं का एक यांत्रिक समाधान है। खराब रिफ्लेक्शन की समस्या को दूर करने हेतु लैंपों पर अतिरिक्त दबाव डालने की कोशिश न करें… बस ऑप्टिक्स सिस्टम को ही ठीक कर लें।