वेफर प्रसंस्करण हेतु सोने से लेपित रिफ्लेक्टरों का उपयोग क्यों किया जाता है?
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर उपकरणों में ऊर्जा का अपव्यय बेहद खराब डिज़ाइन का संकेत है। जब हीटर चालू होता है, तो उसमें से निकलने वाली इन्फ्रारेड ऊर्जा आमतौर पर वापस उसी हीटर में ही वापस आ जाती है, या फिर उपकरण के बाहर चली जाती है। यह तो ऊर्जा का अपव्यय ही है। इसीलिए हम रिफ्लेक्टिव सतहों पर सोने की परत लगाते हैं… ऐसा करने से ऊर्जा बाहर नहीं जाती।
सोने की परावर्तन क्षमता
सोना का उपयोग मशीन को आकर्षक दिखाने हेतु नहीं किया जाता… बल्कि यह तो भौतिकी के कारण ही किया जाता है।
सोना, लंबी तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड ऊर्जा को परावर्तित करने में बेहद कुशल है। जबकि सामान्य एल्यूमीनियम गर्मी बढ़ने पर कार्य करना बंद कर देता है, सोना तो लगातार ही ऊर्जा को परावर्तित करता रहता है। इसका मतलब है कि हीटिंग तत्व से निकलने वाली लगभग हर वॉट की ऊर्जा वेफर पर ही पड़ती है।
इससे ऊर्जा ठीक उसी जगह पहुँचती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है… इसलिए लक्षित तापमान तक पहुँचने हेतु अधिक ऊर्जा की आवश्यकता नहीं होती।
वायरिंग एवं “हीट सोक” समस्या
ऐसी ऊर्जा के साथ काम करते समय, वायरिंग भी उतनी ही मजबूत होनी चाहिए। हम टेफ्लॉन-इंसुलेटेड वायरिंग का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह पिघलता नहीं है।
यह अत्यधिक गर्मी को सहन कर सकता है… और इससे वेफर पर कोई दूषित पदार्थ नहीं जमता। लेकिन ध्यान रखने योग्य बात यह है कि सोने के रिफ्लेक्टर बहुत ही कुशल होते हैं… इसलिए वे वेफर पर बहुत अधिक ऊष्मा डालते हैं। यदि आपकी कूलिंग प्रणाली इस अतिरिक्त ऊष्मा को सहन नहीं कर पाती, तो आपके सेंसर नष्ट हो सकते हैं।
रखरखाव संबंधी सावधानियाँ
सोना तो इस काम हेतु सबसे अच्छा उपकरण है… लेकिन यह बहुत ही नरम होता है।
यदि रखरखाव टीम सफाई के दौरान कठोर सामग्रियों का उपयोग करे, तो सोने की परत खराब हो जाएगी… इससे वेफर पर “कोल्ड स्पॉट” बन जाएँगे… और वेफर का तापमान असंतुलित हो जाएगा। इसलिए गैर-कठोर सामग्रियों का ही उपयोग करें… यही तरीका है जिससे रिफ्लेक्टिव क्षमता बनी रहेगी।
जब वायरिंग ठीक हो एवं परत भी सुरक्षित रहे, तो सब कुछ ठीक चलेगा… आपको तापमान बढ़ाने हेतु अधिक ऊर्जा की आवश्यकता नहीं होगी… एवं वेफर पर तापमान भी संतुलित रहेगा।