Berhentilah memanaskan dinding alat tersebut (dan mulailah memanaskan wafernya saja). Mencapai suhu yang tepat untuk wafer semikonduktor merupakan proses yang membutuhkan ketelitian tinggi. Namun, jika Anda menggunakan lampu inframerah biasa, maka Anda sebenarnya sedang berjuang dalam situasi yang mustahil untuk dimenangkan. Lampu-lampu tersebut menyebarkan panas ke segala arah, sehingga sebagian besar energi yang digunakan hanya digunakan untuk memanaskan dinding bagian dalam alat tersebut.
Itu merupakan pemborosan energi. Yang lebih buruk lagi, hal ini akan membuat chasis peralatan menjadi “radiator raksasa” yang bisa membahayakan operator saat proses perawatan berlangsung. Tentu saja ini bukan hal yang ideal.
Solusinya sangat sederhana: berhentilah menyebarkan panas secara acak, dan mulailah mengarahkan panas ke tempat yang benar. Kami menggunakan teknologi pemanasan inframerah yang terarah untuk menyelesaikan masalah ini.
Bagaimana cara kerjanya? Bayangkanlah lampu kuarsa biasa—lampu tersebut menyebarkan panas ke segala arah. Dalam alat pemrosesan wafer, separuh dari energi tersebut justru digunakan untuk memanaskan dinding logam saja.
Kami menggunakan reflektor dan filter khusus untuk mengarahkan sinar panas tersebut ke tempat yang tepat, yaitu permukaan wafer. Dengan demikian, kecepatan proses pemanasan tetap tinggi, sementara bagian lain dari alat tetap dingin. Tidak perlu lagi memanaskan bagian dalam mesin hingga suhu yang sangat tinggi.
Bagian yang sulit: Menyetel sudut penyinaran dengan tepat Lampu-lampu ini dirancang untuk digunakan di ruang sempit, tetapi mereka tidak dapat digunakan begitu saja tanpa penyesuaian. Fokus sinar merupakan hal yang sangat penting.
Jika posisi lampu sedikit saja tidak tepat, maka akan timbul masalah. Akan ada area yang dingin pada wafer dan area yang panas pada dindingnya. Ini membutuhkan ketelitian yang tinggi, dan membutuhkan tangan yang stabil untuk menyetelnya.
Selain itu, ada juga faktor aliran udara. Lampu berdaya tinggi memang memiliki kekuatan yang besar, tetapi kepala lampu itu sendiri tetap menjadi panas. Jika sistem pendinginan internal tidak berfungsi dengan baik, maka konektor atau lapisan reflektor akan rusak seiring waktu. Anda perlu menyeimbangkan intensitas panas dengan kondisi lingkungan sekitar.
Manfaatnya bagi tim Anda Dengan menghentikan kebocoran panas ke chasis alat, segalanya akan menjadi lebih mudah. Anda tidak perlu menggunakan bahan isolasi yang tebal di setiap panel internal hanya untuk melindungi orang-orang yang bekerja di sana.
Hal ini juga memudahkan proses perawatan alat. Anda dapat membuka kompartemen alat dan mengganti komponennya tanpa harus menunggu berjam-jam agar logamnya dingin. Ini merupakan cara yang lebih aman dan cepat untuk bekerja.