機械の壁面を加熱するのをやめましょう
ほとんどの加熱素子は、熱をあちこちに放出してしまいます。半導体製造装置を作る際には、これは大きな問題です。結果として、筐体が無駄なエネルギーを吸収してしまい、「熱い壁面」ができてしまいます。
これは二重の悪影響をもたらします。電力が無駄に消費されるだけでなく、作業員も機械を動かし続けるために火傷を避ける必要があります。さらに、内部部品が変形するリスクもあります。
私たちはより良い方法を見つけました。それが指向性赤外線ランプです。
その仕組み
スペースヒーターというよりは、懐中電灯のようなものです。チャンバ内の空気全体を温めるのではなく、赤外線ランプは電磁波を直線的に放出します。そのため、熱は目的とするワイヤーや基板にのみ当たり、他の部分は冷たいままです。つまり、装置の外側に巨大な冷却装置を設置する必要がなくなります。
実際に使う際の注意点
必要に応じて、短波または中波の赤外線ランプを使えば、熱を正確に指定した場所に送ることができます。PIDコントローラーと組み合わせれば、非常に精密な温度制御が可能になります。
最良の点は、筐体の表面温度が大幅に下がることです。高温環境での管理が困難になる問題も解決されます。
注意点（必ずあります）
指向性加熱は精密な操作が必要です。もし部品の位置が数ミリズームでもずれていると、基板に冷たい部分ができてしまいます。均一な加熱を実現するためには、反射器の位置を正確に調整する必要があります。
また、高出力の赤外線ランプは電力を多く消費します。電源回路がその急激な電力増加に耐えられるか確認しましょう。そうしないと、ブレーカーが切れてしまい、午後中を修理に費やすことになります。
しかし、一度設定が完了すれば、装置の壁面は巨大な放熱体として機能しなくなります。電気代も節約でき、作業員も火傷の心配なく機械の周りで作業できます。