無駄なエネルギーの消耗をやめましょう：なぜゴールドコーティングされた反射板が重要なのか 正直に言って、半導体製造においてエネルギーを無駄にすることは、単に非効率的なだけでなく、設計上の欠陥でもあります。 ほとんどの標準的な赤外線ヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出しています。その結果、高価な...

機械の壁面を加熱するのをやめましょう ほとんどの加熱素子は、熱をあちこちに放出してしまいます。半導体製造装置を作る際には、これは大きな問題です。結果として、筐体が無駄なエネルギーを吸収してしまい、「熱い壁面」ができてしまいます。 これは二重の悪影響をもたらします。電力が無駄に消費されるだけでなく、...

機械を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を加熱しましょう。 乾燥室の側面に触れると、皮膚が焼けつくような感覚がありますよね？それが「熱の過剰な蓄積」です。 これは、ほとんどの製造用乾燥装置が熱をあちこちに放出しているためです。エネルギーがチャンバー内に送り込まれると、その熱は行き場を失い、内壁や筐体...