真空対応型赤外線ヒーター：ハイエンドウェーハ製造ラインで実際に活躍する製品
私たちがこの真空対応型赤外線ヒーターを開発したのは、先端半導体製造という過酷な環境でも安定して機能するためです。また、均一で高密度な熱を、正確に必要な場所に供給することも目的です。
実際のウェーハ製造ライン上で、当社の製品を世界の有名ブランドの製品と直接比較してみました。数値がその性能を物語っています。
出力、電圧、サイズについて
コア部分は300mmの石英管です。標準的な装置にすぐに装着できるサイズなので、設備を再構築する必要はありません。
400Vの入力電圧も単なる偶然の選択ではありません。この電圧により、コンパクトなデザインでも十分な電流を供給でき、迅速な加熱が可能になります。
2500Wの出力により、真空下でも迅速に温度を上昇させ、安定した温度を維持できます。ただし、チャンバーの冷却システムが適切でないと、余分な熱が部屋に漏れ出します。
デザインの詳細：重要なポイント
管の内部では、ハロゲンサイクルによってフィラメントが安定し、何千回もの加熱サイクルを経ても劣化しません。
石英製の外殻は、短波赤外線帯域での高い透過率を持っているため、ほとんど質量を増やすことなく直接加熱が可能です。
また、保護コーティングにより、真空下でも汚染やガスの放出を防ぎ、チャンバーを清潔に保ちます。
R7sコネクタも優れた選択肢です。しっかりと固定され、電流を適切に扱い、ランプの交換も簡単に行えます。
ウェーハ製造ラインへのメリット
ハイエンドなウェーハ製造ラインでは、粒子を発生させず、工程のばらつきを引き起こさずに、正確で局所的な加熱が求められます。
当社の真空対応型赤外線ヒーターは、まさにその要件を満たします。エネルギーを正確に必要な場所に集中させ、処理時間を短縮し、メンテナンスにかかる時間も削減できます。
信頼性が重要なクリーンルーム環境に最適な製品です。
実際の性能をご覧になりたい方は、当社のヒーターをお使いいただけます。データがその性能を証明してくれます。