無駄なエネルギーの消耗をやめましょう：なぜゴールドコーティングされた反射板が重要なのか
正直に言って、半導体製造においてエネルギーを無駄にすることは、単に非効率的なだけでなく、設計上の欠陥でもあります。
ほとんどの標準的な赤外線ヒーターは、エネルギーをあらゆる方向に放出しています。その結果、高価なエネルギーの多くがウェーハではなく、チassisを温めるだけになってしまいます。私たちは、もっと良い方法があると考えました。ゴールドコーティングされた反射板を使えば、余分なエネルギーを再びウェーハに戻すことができます。
その仕組みは簡単です。
ほとんどのヒーターは360度全方位に熱を放出します。つまり、エネルギーの半分は最初から間違った方向に行ってしまうのです。私たちは、赤外線の98％以上を反射する高純度のゴールドコーティングを使用しています。
これにより、電力代を削減できるだけでなく、熱も集中させることができます。電源の電流を上げる必要なく、ウェーハ上により高密度の熱が与えられます。これは、より効率的でスマートな方法です。
しかし、問題点もあります。
エネルギーをこれほど集中させると、ランプの電極部分が非常に高温になります。迅速な加熱を実現するために高いワット数を使用すると、クォーツ製のランプの耐久性に悪影響が及びます。
これを無視してはいけません。ランプの端に生じる局所的な過熱に対処できる冷却システムを必ず設置してください。そうしないと、ランプが早期に壊れてしまいます。
実際の環境での利用方法
私たちは、これらをそのまま交換可能な形で作成しました。ウェーハの装置全体を再設計する必要はありません。真空蒸着によってゴールドコーティングを施すため、層が均一になり、システムが熱サイクルを繰り返しても剥がれ落ちることはありません。
ウェーハ全体の温度を正確に制御したい場合、ゴールド反射板の形状を調整することで、厄介な低温部分を解消できます。
これは、熱に関する問題を機械的に解決する方法です。悪い反射特性を補うためにランプを過度に駆動しようとするのはやめましょう。光学系を改善するだけで十分です。