ในห้องผลิตชิป การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1°C ในระหว่างขั้นตอนการอบชิปก็อาจทำให้ชิปทั้งล็อตเสียหายได้ เราจึงออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดมาเพื่อลดความเสี่ยงดังกล่าว เครื่องเหล่านี้ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในทุกขั้นตอน ไม่ว่าจะเป็นการอบชิป การอบสารโฟโตเรสิสต์ การอบวัสดุที่ใช้ห่อหุ้มชิป และการอบชิปหลังการทำความสะอาด
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เครื่องทำความร้อนนี้ใช้แสงอินฟราเรดชนิดใกล้แสงอาทิตย์ โดยมีสเปกตรัมที่ถูกออกแบบมาเป็นพิเศษ เพื่อให้ความร้อนกับชิปโดยตรง โดยไม่มีการใช้น้ำหรือสารอื่นๆ ที่อาจก่อให้เกิดมลพิษได้ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวชิปอยู่ที่ ±0.1°C และความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิในแต่ละครั้งอยู่ที่ ±0.5°C อัตราการตอบสนองอยู่ที่น้อยกว่า 2 วินาที ดังนั้นจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ห้องที่มีมาตรฐาน Class 1–100 สามารถสร้างได้ด้วยวัสดุควอตซ์/เซรามิก รวมถึงวัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดก๊าซ และการออกแบบที่ช่วยลดปริมาณอนุภาคที่อาจก่อให้เกิดมลพิษได้ เครื่องเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ 24/7 โดยมีอายุการใช้งานหลายหมื่นชั่วโมง และมีโมดูลที่สามารถเปลี่ยนได้เพื่อลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด
ในขั้นตอนการผลิตชิป การอบชิปมีบทบาทสำคัญในการควบคุมขนาดของชิป เครื่องทำความร้อนของเราช่วยควบคุมอุณหภูมิของสารโฟโตเรสิสต์ ซึ่งช่วยลดความแปรปรวนของขนาดชิปและเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิต สำหรับการอบชิปหลังการทำความสะอาด การให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอจะช่วยลดรอยขีดข่วนและรอยน้ำบนพื้นผิวชิปได้ โดยไม่มีการสัมผัสกัน
ในขั้นตอนการห่อหุ้มชิป เครื่องเหล่านี้ก็ช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยลดเวลาในการผลิต พร้อมทั้งรักษาความแข็งแรงและความน่าเชื่อถือของชิปไว้ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะความร้อนจะถูกส่งไปยังกระบวนการผลิตโดยตรง ไม่ใช่ไปสู่ห้องที่มีขนาดใหญ่
สิ่งสำคัญคือ เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้เหมาะกับเครื่องมือของคุณโดยเฉพาะ รูปร่างของห้อง ชนิดของอุปกรณ์จับชิป และตำแหน่งของเซ็นเซอร์ล้วนมีความสำคัญ การตั้งค่าเครื่องใช้เวลาไม่นาน และคุณจำเป็นต้องใช้อากาศที่สะอาดและแห้ง เพื่อให้อุณหภูมิคงที่ การปรับสเปกตรัมของแสงให้เหมาะกับวัสดุที่ใช้ในการผลิตก็มีความสำคัญเช่นกัน เรามีข้อมูลเกี่ยวกับการปรับค่าการแผ่รังสีและการสะท้อนแสงสำหรับแต่ละขั้นตอนการผลิตให้ด้วย