การอบแห้งหลังกระบวนการ CMP เป็นหนึ่งในสาเหตุที่ทำให้อัตราการผลิตลดลงได้ ปัญหาต่างๆ เช่น รอยน้ำ รอยขีดข่วนขนาดเล็ก และการสะสมของอนุภาคต่างๆ ล้วนเกิดจากปัญหาเดียวกัน นั่นคือ อุณหภูมิที่ไม่คงที่และการกระจายความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอ ดังนั้น เครื่องอบแห้งหลังกระบวนการ CMP จึงไม่สามารถใช้เพียงแค่อากาศอุ่นเท่านั้น แต่ต้องสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในระดับวงจรหลัก เพื่อให้อุณหภูมิอยู่ในช่วงที่กำหนดไว้ตลอดเวลา
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง
เราออกแบบเครื่องอบแห้งให้มีองค์ประกอบที่สามารถสร้างความร้อนได้อย่างรวดเร็ว พร้อมด้วยเซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง ทำให้อุณหภูมิบนวงจรหลักมีความสม่ำเสมอในระดับ ±0.1°C อัลกอริทึมการควบคุมจะช่วยปรับตัวเมื่อมีการเปลี่ยนแปลงของภาระความร้อน เช่น การเคลื่อนที่ของวงจรหลัก การเปิด-ปิดประตู หรือการเปลี่ยนแปลงของกระแสก๊าซ ทำให้อุณหภูมิบนวงจรหลักคงที่ นอกจากนี้ เครื่องนี้ยังเหมาะสมสำหรับใช้ในห้องควบคุมสภาพแวดล้อมที่มีความสะอาดสูง โดยวัสดุและส่วนประกอบต่างๆ ถูกออกแบบมาให้เหมาะสมกับมาตรฐาน Class 1–100 และพื้นผิวต่างๆ ก็ถูกปรับให้มีความสะอาดเพื่อลดการเกิดอนุภาคต่างๆ ความสามารถในการควบคุมอุณหภูมิจะคงที่ตลอดเวลา และข้อมูลจากการใช้งานจริงแสดงให้เห็นว่าไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดเลย
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญหลังกระบวนการ CMP
หลังจากกระบวนการ CMP พื้นผิวของวงจรหลักจะมีความไวต่อสารเคมีและแรงกดดันทางกล การควบคุมอุณหภูมิให้คงที่จะช่วยป้องกันไม่ให้สารเคมีที่ใช้ในการพิมพ์ลวดลายบนวงจรหลักเสื่อมสภาพ และยังช่วยรักษาความสมบูรณ์ของลวดลายไว้ได้ นอกจากนี้ การกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอยังช่วยลดปัญหาจุดร้อนที่อาจทำให้เกิดรอยขีดข่วนบนวงจรหลักได้อีกด้วย
ผลลัพธ์ที่ได้
คือ อัตราข้อบกพร่องลดลง จำนวนวงจรหลักที่ต้องแก้ไขลดลง และเวลาในการผลิตก็ไม่เปลี่ยนแปลง นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะระบบสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและคงที่ และช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ได้ เนื่องจากอุปกรณ์สามารถทำงานภายใต้ค่าความเครียดทางความร้อนที่กำหนดไว้ได้
สิ่งที่ควรพิจารณาก่อนติดตั้ง
ก่อนติดตั้ง จำเป็นต้องวางแผนเรื่องตำแหน่งของอุปกรณ์ การจัดหาก๊าซ และระบบระบายอากาศ นอกจากนี้ ยังต้องมีเวลาในการปรับแต่งระบบให้เหมาะสมกับกระบวนการ CMP และสารเคมีที่ใช้ในการล้างวงจรหลักด้วย ควรมีการปรับเทียบเซ็นเซอร์และอุปกรณ์อื่นๆ อย่างสม่ำเสมอ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C การทำเช่นนี้จะช่วยให้อัตราการผลิตคงที่ได้ในระยะยาว