ในขั้นตอนการผลิตด้วยเทคโนโลยีลิธโกราฟีนั้น คุณก็รู้ดีว่ามันเป็นอย่างไร ไม่ว่าจะเป็นการอบด้วยความร้อนในระดับต่ำหรือสูง แม้แต่การเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิ้นส่วนเปลี่ยนไปถึงระดับนาโนเมตรได้ คุณจะเห็นผลได้ทันที เช่น การเกิดรอยด่าง หรือการเชื่อมต่อของชิ้นส่วนต่างๆ เข้าด้วยกัน ซึ่งส่งผลให้ได้ชิ้นส่วนที่ไม่สามารถนำมาใช้งานได้ เราจึงออกแบบหลอดไฟอินฟราเรดสำหรับใช้ในการอบวัสดุฟอโตเรสิสต์ เพื่อให้มั่นใจว่าอุณหภูมิจะคงที่ในทุกช่วงเวลา แม้ในช่วงเวลาที่มีการหยุดการผลิตก็ตาม
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เราใช้หลอดไฟอินฟราเรดคลื่นสั้นที่มีโครงสร้างควอตซ์ที่ตอบสนองได้อย่างรวดเร็ว ความร้อนจะถูกส่งตรงไปยังชั้นฟอโตเรสิสต์โดยตรง โดยไม่ทำให้วัสดุอื่นๆ เสียหาย ดังนั้นความสม่ำเสมอของอุณหภูมิจะอยู่ที่ ±0.1°C และกราฟการอบจะช่วยให้ควบคุมกระบวนการผลิตได้อย่างแม่นยำ ระบบนี้ยังช่วยให้ไม่มีฝุ่นเกิดขึ้นเลย ซึ่งเหมาะสำหรับห้องผลิตที่มีมาตรฐาน Class 1–100 นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถเชื่อมต่อกับอินเทอร์เฟซมาตรฐานของ SEMI ได้อีกด้วย ประสิทธิภาพของระบบจะคงที่เป็นเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการลดลงของความเข้มแสงน้อยกว่า 5%
การประมวลผลฟอโตเรสิสต์นั้นขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิ การอบต้องทำให้เสร็จอย่างรวดเร็ว และต้องรักษาอุณหภูมิให้คงที่ หลอดไฟของเราช่วยลดเวลาการอบและทำให้อุณหภูมิคงที่ภายในไม่กี่วินาที ดังนั้นจึงสามารถเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้ โดยไม่จำเป็นต้องใช้พลังงานมากขึ้น
โปรไฟล์อุณหภูมิเดียวกันนี้จะถูกใช้ซ้ำไปซ้ำมาในแต่ละชุดการผลิต ความสามารถในการคาดการณ์นี้เองที่ช่วยให้สามารถควบคุมค่า CD ได้อย่างแม่นยำ และทำให้อัตราการผลิตอยู่ในระดับที่พอใจ ในกระบวนการผลิต 24 ชั่วโมงต่อวัน ระบบนี้ช่วยให้ไม่มีเวลาหยุดการผลิตที่ไม่ได้วางแผนไว้ และการบำรุงรักษาก็สามารถทำได้ตามกำหนดเวลา โดยไม่ต้องมีการแก้ไขฉุกเฉิน
มีบางสิ่งที่ควรคำนึงถึง การติดตั้งระบบนี้นั้นทำได้ง่าย แต่ต้องมีการปรับให้ตำแหน่งของหลอดไฟอยู่ในระดับที่แม่นยำ หากไม่เป็นเช่นนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะเปลี่ยนไป
หน้าหลอดไฟมีความร้อนสูง ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการป้องกันความร้อนและมีระบบป้องกันเพิ่มเติม นอกจากนี้ ยังต้องมีการปรับโปรไฟล์แสงของหลอดไฟให้เหมาะสมกับช่วงความยาวคลื่นที่ฟอโตเรสิสต์สามารถดูดซับได้ ฟอโตเรสิสต์แต่ละชนิดต้องการโปรไฟล์อินฟราเรดที่แตกต่างกัน ดังนั้นเราจึงออกแบบระบบให้เหมาะสมกับแต่ละชนิดของฟอโตเรสิสต์