WafER’lerinizi lekesiz tutmak: IR ısısı konusundaki gerçekler
Eğer Class 100 düzeyinde bir temiz oda kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar korkutucu olabileceğini zaten biliyorsunuzdur. Küçücük bir toz parçası bile tüm ürünlerinizi boşa çıkarabilir.
Silikon wafER’leri ısıtmak için herhangi bir lamba kullanamazsınız. Bu yüzden IR lambalarımız için yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz. Böylece hiçbir şeyin wafER’lerin üzerine düşmesini engelleyebiliriz.
Kuvarsın neden önemli olduğu
Aslında standart kuvars “saf” değildir. Sıcak olduğunda buharlaşmaya başlayan safsızlıkları vardır. Bu da üretim sürecinde büyük sorunlara yol açabilir. Bu tür sorunları önlemek için yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Kuvars tüpünü, tungsten filamentin dışarıya çıkmasını engelleyen sıkıca kapalı bir kabuk olarak düşünebilirsiniz. Böylece tungsten filament, temiz odadaki havayla temas etmez.
Doğru sıcaklığı elde etmek
Tüm wafER üzerinde eşit sıcaklık olmalıdır; ne sıcak noktalar ne de soğuk bölgeler olmalıdır. Bu yüzden bu lambalar için kısa dalga boylu IR ışığı kullanıyoruz. Böylece ısı hızla wafER’in içine ulaşır ve sadece odanın duvarları ısınmaz. Ayrıca yüksek yoğunlukta filamentler kullanarak, PID kontrol cihazı gücü ayarladığında lambalar hemen tepki verir.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Gerilimin düşmemesine dikkat edin. Eğer bu lambaları uzun bir seri halinde bağlarsanız, direnç artabilir ve wafER’in bazı bölgeleri diğerlerinden daha soğuk kalabilir. Her lamba için sabit bir güç sağlamak için özel güç kaynakları kullanılması en iyi yöntemdir.
Bu lambaların kullanımı
Bu lambalar, mevcut yarı iletken ekipmanlara kolayca takılacak şekilde tasarlanmıştır. Ancak soğutma sistemine de dikkat etmelisiniz. Bu lambalar küçük bir alanda çok fazla ısı üretir. Eğer hava akışı yetersizse, kuvarsın uç kısımları aşırı ısınır ve bu da hasara yol açabilir. Bağlantı noktalarınızın temiz olmasına ve vakumun sağlam kalmasına dikkat edin.