Neden FIR yansıtıcılarının kurşunsuz işlemler için önemli olduğu
Yarı iletken sektörü, kurşunsuz ve enerji tasarruflu standartlara doğru hızla ilerliyor. Uzun süre boyunca konveksiyon fırınlarına güvendik; ancak dürüst olmak gerekirse, devasa bir hava kutusunu ısıtmak büyük bir enerji israfıdır.
İşte bu yüzden infraruj (IR) yöntemine geçtik. Bu yöntemde ısı doğrudan wafer yüzeyine iletilir. Ancak burada dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Sadece bir lamba yerleştirip işi bitirmek yeterli değil. Bu iş için özel olarak tasarlanmış bir yansıtıcıya ihtiyaç vardır.
Enerjinizi boşa harcamayın
Bir IR lambasının nasıl çalıştığını düşünün. Işık her yöne yayılır. Yansıtıcı olmadan, bu enerjinin yarısı sadece makinenin duvarlarını ısıtır. Bu tam anlamıyla bir israftır.
Bizim yansıtıcılarımız, bu boşa giten enerjiyi yakalayıp tekrar wafer üzerine yönlendirir. Böylece sistemde daha fazla enerji kullanmadan ısı akışını artırabiliriz. Bu hem daha hızlı hem de daha etkili bir yöntemdir. Ayrıca, bu sayede işlem süresi de azalır.
Gerçekten dayanıklı malzemeler
Biz kalitesiz kaplamalar kullanmıyoruz. Temizliği sağlamak ve çevre kurallarına uymak için yüksek saflıkta alüminyum veya altın kaplamalı malzemeler kullanıyoruz.
Bu malzemeler, kısa dalga boyundaki IR lambalarının oluşturduğu aşırı ısı yüklerine karşı bükülme veya deformasyon olmadan dayanabilir. Biz “yansıtıcı yansıma” tekniğine odaklanıyoruz; bu da ışığın bir ayna gibi yansıdığı anlamına gelir. Eğer ışık dağılırsa, sıcak noktalar oluşur ve bu da waferlerin zarar görmesine neden olur. Kimse bunu istemez.
Atölye koşulları
Bu, “bağlayıp unutun” tarzında bir çözüm değildir. Yüksek yansıtıcılıkta bir yüzey kullandığınızda, çok fazla ısı belirli bir noktada toplanır. Eğer soğutma fanları yeterli değilse sorunlar yaşarsınız. Termal yoğunluk çok yüksek olduğunda kabloların yanmasına veya donanımların deformasyona uğramasına neden olabilir.
Bu durumda dengeyi sağlamak gerekiyor. Odak noktasını ve waferle olan mesafeyi doğru ayarlamanız gerekir.
IR yöntemine geçmek, kimyasal çözücülerden vazgeçmenizi ve temiz odanızın karbon ayak izini azaltmanızı sağlar. Bu, ekipmanlarla mücadele etmeden üretiminizi kurşunsuz standartlara uygun hale getirmenin en basit yoludur.