Yarı iletkenlerin yıkama ve kurutma işlemlerinde karbon tüketimini azaltmak (zahmetsizce)
Dürüst olalım: Yarı iletken üretim tesislerindeki yıkama ve kurutma işlemleri oldukça fazla enerji tüketen süreçlerdir. Burada çok miktarda enerji boşa harcanıyor. Bunu nasıl çözebileceğimizi bulmak için uzun süre uğraştık ve cevap su geçirmez kızılötesi (IR) lambalar oldu.
Bu lambalar, normal ekipmanların işe yaramadığı bu nemli ve ıslak ortamlar için özel olarak tasarlanmıştır.
Havadan ısı almayı durdurun
Geleneksel konveksiyon fırınlarının sorunu şudur: Her yeri ısıtmaya çalışırlar. Wafer’leri kurutmak için tüm odanın ısınması gerekiyor; bu da büyük bir enerji kaybına neden oluyor. Bu oldukça verimsiz bir yöntemdir.
IR lambalar ise farklı şekilde çalışır. Kısa dalga radyasyonunu kullanarak wafer’in yüzeyine doğrudan ısı uygularlar. Artık tüm sistemin termal kütleleriyle mücadele etmenize gerek yoktur. Bu sayede enerji tüketimi azalır. Sistem daha hızlı harekete geçer ve sistem boşta iken de enerji israfı olmaz.
Nemle başa çıkmak
Eğer standart kuvars tüpleri yıkama işlemlerinde kullanılırsa, bu tüpler kırılacak veya arızalanacaktır. Nem seviyesi gerçekten çok yüksektir.
İşte bu yüzden bu cihazları sıkıca kapatalıyoruz. Yüksek saflıkta kuvars malzemeler ve su buharını kabul edebilen contalar kullanarak nemin içeri girmesini engelliyoruz.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Watt değerlerine dikkat etmelisiniz. Yüksek yoğunluklu IR lambalar çok büyük miktarda ısı üretir. Eğer egzoz sisteminiz bu ısıyı atmak için yeterince güçlü değilse, sensörleriniz ve aletleriniz zarar görebilir. Burada denge çok önemlidir.
“Yeşil fabrikaların” gerçekten işe yaraması
İnsanlar “yeşil fabrikalar”dan bahsettiğinde bu genellikle pazarlama söylemleri gibi geliyor. Ancak gerçekte bu, sadece verimlilikle ilgilidir.
IR lambaların en iyi yanlarından biri de anında çalışmasıdır. Açık/kapalı modda çalışır; beklemeye gerek yoktur. Wafer’lerin taşındığı o zahmetli anlarda enerji israfı olmaz.
Mühendisler eski, ağır termal ısıtıcıları bırakıp bölgesel IR lambalarını kullandığında en büyük kazançları elde ediyoruz. Isının nereye gideceğini siz belirleyebilirsiniz. Bu sayede her wafer başına harcanan enerji azalır ve böylece karbon hedeflerine ulaşılabilir – üretim hızı da düşmez.